講演抄録/キーワード |
講演名 |
2007-12-14 13:00
高濃度Si薄膜中の不純物活性化 ○野口 隆(琉球大) SDM2007-227 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2007-227 |
抄録 |
(和) |
(まだ登録されていません) |
(英) |
(Not available yet) |
キーワード |
(和) |
/ / / / / / / |
(英) |
/ / / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 107, no. 388, SDM2007-227, pp. 23-26, 2007年12月. |
資料番号 |
SDM2007-227 |
発行日 |
2007-12-07 (SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
SDM2007-227 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2007-227 |
研究会情報 |
研究会 |
SDM |
開催期間 |
2007-12-14 - 2007-12-14 |
開催地(和) |
奈良先端科学技術大学院大学 |
開催地(英) |
Nara Institute Science and Technology |
テーマ(和) |
シリコン関連材料の作製と評価 |
テーマ(英) |
Silicon related material, process and device |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
SDM |
会議コード |
2007-12-SDM |
本文の言語 |
英語(日本語タイトルあり) |
タイトル(和) |
高濃度Si薄膜中の不純物活性化 |
サブタイトル(和) |
|
タイトル(英) |
Effective Activation of Phosphorus atom in Si film using ELA |
サブタイトル(英) |
|
キーワード(1)(和/英) |
/ |
キーワード(2)(和/英) |
/ |
キーワード(3)(和/英) |
/ |
キーワード(4)(和/英) |
/ |
キーワード(5)(和/英) |
/ |
キーワード(6)(和/英) |
/ |
キーワード(7)(和/英) |
/ |
キーワード(8)(和/英) |
/ |
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
野口 隆 / Takashi Noguchi / |
第1著者 所属(和/英) |
琉球大学 (略称: 琉球大)
UNiversity of the Ryukyus (略称: Univ. of Ryukyus) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第2著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第3著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第4著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第5著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第6著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第7著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第8著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第9著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第10著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第11著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第12著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第13著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第14著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第15著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第16著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第17著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第18著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第19著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第20著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2007-12-14 13:00:00 |
発表時間 |
30分 |
申込先研究会 |
SDM |
資料番号 |
SDM2007-227 |
巻番号(vol) |
vol.107 |
号番号(no) |
no.388 |
ページ範囲 |
pp.23-26 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2007-12-07 (SDM) |
|