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講演抄録/キーワード
講演名 2007-12-14 17:20
アルコール系溶液による強誘電体薄膜特性の焼成条件依存性
山口正樹芝浦工大)・増田陽一郎八戸工大SDM2007-236
抄録 (和) 近年,次世代の薄膜形成手法のひとつであるプリンテッド・エレクトロニクス手法に応用できるアルコール系インクから,強誘電体薄膜の合成を行った.アルコールに可溶なトリターシャリーアミロキシビスマス,イソプロポキシチタンを原料とし,比較的低温の750℃においてチタン酸ビスマス単相膜を得た.この薄膜は強誘電特性を示し,自発分極および抗電界はそれぞれ2.6μC/cm2および36kV/cmであった.また分極疲労耐性は10^8回以上を実現した. 
(英) The inkjet technique is devised as one of the thin film formation method of the next generation. We synthesized the ferroelectric thin film of bismuth titanate by using alcohol-related solutions. The single phase film was obtained at 750℃ showed ferroelectric characteristics. The remanent polarization and the coercive field were 2.6μC/cm2 and 36kV/cm, respectively, and shows fatigue properties up to 10^8 times.
キーワード (和) アルコール系インク / インクジェットプリンタ / チタン酸ビスマス / 薄膜 / / / /  
(英) Alcohol-Related Solutions / Inkjet Printer / Bismuth Titanate / Thin Films / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 388, SDM2007-236, pp. 59-62, 2007年12月.
資料番号 SDM2007-236 
発行日 2007-12-07 (SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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PDFダウンロード SDM2007-236

研究会情報
研究会 SDM  
開催期間 2007-12-14 - 2007-12-14 
開催地(和) 奈良先端科学技術大学院大学 
開催地(英) Nara Institute Science and Technology 
テーマ(和) シリコン関連材料の作製と評価 
テーマ(英) Silicon related material, process and device 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2007-12-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) アルコール系溶液による強誘電体薄膜特性の焼成条件依存性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication and Physical Properties of Ferroelectric Thin Films by Alcohol-related Materials 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) アルコール系インク / Alcohol-Related Solutions  
キーワード(2)(和/英) インクジェットプリンタ / Inkjet Printer  
キーワード(3)(和/英) チタン酸ビスマス / Bismuth Titanate  
キーワード(4)(和/英) 薄膜 / Thin Films  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 山口 正樹 / Masaki Yamaguchi / ヤマグチ マサキ
第1著者 所属(和/英) 芝浦工業大学 (略称: 芝浦工大)
Shibaura Institute of Technology (略称: Shibaura Inst. of Tech.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 増田 陽一郎 / Yoichiro Masuda / マスダ ヨウイチロウ
第2著者 所属(和/英) 八戸工業大学 (略称: 八戸工大)
Hachinohe Institute of Technology (略称: Hachinohe Inst. of Tech.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2007-12-14 17:20:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 SDM 
資料番号 SDM2007-236 
巻番号(vol) vol.107 
号番号(no) no.388 
ページ範囲 pp.59-62 
ページ数
発行日 2007-12-07 (SDM) 


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