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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-01-24 16:40 光ファイバを用いた高感度CRD測定技術の開発 高木正和・○松浦正憲・逸崎重徳（タツタ電線）  OFT2007-55 |
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| 抄録 | （和） | 半導体の製造に使用する高純度材料には水分のような不純物のオンライン品質管理が必要とされている。現在、CRD（キャビティリングダウン）法はオンライン高感度分析の一つである。しかし、従来のCRD法では温度や振動といった周囲環境の影響を受けやすいためシステムが不安定となる。本論では新規にファイバループ型の光ファイバCRDシステムを開発した。本システムでは微量サンプルの分析を可能にしたが、サンプルセルにおける光損失が生じたため高感度分析に必要なRDP（リングダウンパルス）を得ることはできなかった。そこでファイバループ中にEDFAを組み込むことで、サンプルセルにおける光損失を補償した。ただし、検知対象物質によっては、測定感度は未だ不十分であると考えている。現在、低損失セルの開発を進めているが十分な結果は得ていない。今後は測定感度を向上させる取組みを行う予定である。 |
| （英） | The online quality control of impurities such as water in highly pure materials used for semiconductor manufactureis needed. Currently, CRD (Cavity Ring-Down) technique has been one method of online high sensitive analysis. However, in case of conventional CRD, measurement system is unstable because it is easy to be affected by surrounding noise such as temperature and vibration. In this paper, we have developed novel optical fiber CRD system using a fiber loop instead of a pair of mirrers. Although this system is very stable and enables the analysis of microscale sample, in this CRD system,acceptable RDP (Ring -Down Pulse) for high sensitive analysis were not observed because of light loss through sample cell. So,we used optical amplifier in fiber-loop to repair light loss through sample cell. This amplified CRD system made improvement of measurement sensitivity. But we have to improve still further measurement sensitivity depending on analyte assayed. Wehave tried to develop low-loss cell, but at present satisfactory result are not achieved. We will maintain our approach to increase measurement sensitivity. | |
| キーワード | （和） | キャビティリングダウン / カプラ / リングダウンパルス / 光増幅 / / / / |
| （英） | Cavity Ring-Down / coupler / Ring-Down Pulse / optical amplifier / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 451, OFT2007-55, pp. 33-36, 2008年1月. | |
| 資料番号 | OFT2007-55 | |
| 発行日 | 2008-01-17 (OFT) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OFT2007-55 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OFT |
| 開催期間 | 2008-01-24 - 2008-01-25 |
| 開催地（和） | 広島工業大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OFT |
| 会議コード | 2008-01-OFT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 光ファイバを用いた高感度CRD測定技術の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of high sensitive analysis technique by CRD (Cavity Ring Down) method with optical fiber |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | キャビティリングダウン / Cavity Ring-Down |
| キーワード(2)（和/英） | カプラ / coupler |
| キーワード(3)（和/英） | リングダウンパルス / Ring-Down Pulse |
| キーワード(4)（和/英） | 光増幅 / optical amplifier |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高木 正和 / Masakazu Takagi / タカギ マサカズ |
| 第1著者 所属（和/英） | タツタ電線株式会社 (略称： タツタ電線) TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE Co. LTD (略称： TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松浦 正憲 / Masanori Matsuura / マツウラ マサノリ |
| 第2著者 所属（和/英） | タツタ電線株式会社 (略称： タツタ電線) TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE Co. LTD (略称： TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 逸崎 重徳 / Shigenori Itsuzaki / イツザキ シゲノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | タツタ電線株式会社 (略称： タツタ電線) TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE Co. LTD (略称： TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE) |
| 講演者 | 第2著者 |
| 発表日時 | 2008-01-24 16:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OFT |
| 資料番号 | OFT2007-55 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.451 |
| ページ範囲 | pp.33-36 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2008-01-17 (OFT) |
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