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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-03-07 15:50 銅表面酸化膜の構造調査 ○小林健作・小宮 暖・箕輪 功（玉川大）・高屋敷陽介・高田 肇・渡邊嘉彦（矢崎総業）  EMD2007-134 |
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| 抄録 | （和） | 銅表面の酸化膜厚とその構造について、接触抵抗の測定・オージェ電子分光から検討した。また、過去のデータから酸化膜厚に対して接触抵抗のグラフが単調増加せず振動的に増加したことを検証した。接触抵抗は酸化膜厚を変化させ測定する。この際、酸化膜の皮膜抵抗のみを測定するため、銅の接触面に金を蒸着させた。これにより、接触抵抗から集中抵抗を減少させることができると考えられる。さらにオージェ電子分光で酸化膜の元素を検出し、構造解析を行った。 |
| （英） | An analytical study for the structure of oxide film on copper surface has been performed by both methods of contact resistance measurement and Auger electron spectroscopy(AES). Gold evaporated deposited film are covered on the oxide surface to reduce constriction resistance between moving contact gold wire and copper. Contact resistances were changed as oscillatory increasing as the past study. Furthermore, atoms of surface were detected and also thickness of surface film layers were measured by AES. | |
| キーワード | （和） | 接触抵抗 / 銅酸化皮膜 / 集中抵抗 / 皮膜抵抗 / オージェ電子分光法 / / / |
| （英） | contact resistance / copper oxide film / constriction resistance / film resistance / AES / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 534, EMD2007-134, pp. 41-44, 2008年3月. | |
| 資料番号 | EMD2007-134 | |
| 発行日 | 2008-02-29 (EMD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2007-134 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
| 開催期間 | 2008-03-07 - 2008-03-07 |
| 開催地（和） | 都立産業技術高専（荒川キャンパス） |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | ショートノート（卒論・修論特集） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMD |
| 会議コード | 2008-03-EMD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 銅表面酸化膜の構造調査 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | An analytical study for copper surface oxide film |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 接触抵抗 / contact resistance |
| キーワード(2)（和/英） | 銅酸化皮膜 / copper oxide film |
| キーワード(3)（和/英） | 集中抵抗 / constriction resistance |
| キーワード(4)（和/英） | 皮膜抵抗 / film resistance |
| キーワード(5)（和/英） | オージェ電子分光法 / AES |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小林 健作 / Yousuke Takayashiki / コバヤシ ケンサク |
| 第1著者 所属（和/英） | 玉川大学 (略称： 玉川大) Tamagawa University (略称： Tamagawa Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小宮 暖 / Atsu Komiya / コミヤ アツ |
| 第2著者 所属（和/英） | 玉川大学 (略称： 玉川大) Tamagawa University (略称： Tamagawa Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 箕輪 功 / Isao Minowa / ミノワ イサオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 玉川大学 (略称： 玉川大) Tamagawa University (略称： Tamagawa Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高屋敷 陽介 / Yousuke Takayashiki / タカヤシキ ヨウスケ |
| 第4著者 所属（和/英） | 矢崎総業株式会社 (略称： 矢崎総業) Yazaki Corporation (略称： Yazaki Corp．) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高田 肇 / Hajime Takada / タカダ ハジメ |
| 第5著者 所属（和/英） | 矢崎総業株式会社 (略称： 矢崎総業) Yazaki Corporation (略称： Yazaki Corp．) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡邊 嘉彦 / Yoshihiko Watanabe / ワタナベ ヨシユキ |
| 第6著者 所属（和/英） | 矢崎総業株式会社 (略称： 矢崎総業) Yazaki Corporation (略称： Yazaki Corp．) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-03-07 15:50:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | EMD |
| 資料番号 | EMD2007-134 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.534 |
| ページ範囲 | pp.41-44 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2008-02-29 (EMD) |
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