お知らせ 2023年度・2024年度 学生員 会費割引キャンペーン実施中です
お知らせ 技術研究報告と和文論文誌Cの同時投稿施策(掲載料1割引き)について
お知らせ 電子情報通信学会における研究会開催について
お知らせ NEW 参加費の返金について
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
講演論文 詳細
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
 トップに戻る 前のページに戻る   [Japanese] / [English] 

講演抄録/キーワード
講演名 2008-03-07 15:50
銅表面酸化膜の構造調査
小林健作小宮 暖箕輪 功玉川大)・高屋敷陽介高田 肇渡邊嘉彦矢崎総業EMD2007-134 エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2007-134
抄録 (和) 銅表面の酸化膜厚とその構造について、接触抵抗の測定・オージェ電子分光から検討した。また、過去のデータから酸化膜厚に対して接触抵抗のグラフが単調増加せず振動的に増加したことを検証した。接触抵抗は酸化膜厚を変化させ測定する。この際、酸化膜の皮膜抵抗のみを測定するため、銅の接触面に金を蒸着させた。これにより、接触抵抗から集中抵抗を減少させることができると考えられる。さらにオージェ電子分光で酸化膜の元素を検出し、構造解析を行った。 
(英) An analytical study for the structure of oxide film on copper surface has been performed by both methods of contact resistance measurement and Auger electron spectroscopy(AES). Gold evaporated deposited film are covered on the oxide surface to reduce constriction resistance between moving contact gold wire and copper. Contact resistances were changed as oscillatory increasing as the past study. Furthermore, atoms of surface were detected and also thickness of surface film layers were measured by AES.
キーワード (和) 接触抵抗 / 銅酸化皮膜 / 集中抵抗 / 皮膜抵抗 / オージェ電子分光法 / / /  
(英) contact resistance / copper oxide film / constriction resistance / film resistance / AES / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 534, EMD2007-134, pp. 41-44, 2008年3月.
資料番号 EMD2007-134 
発行日 2008-02-29 (EMD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード EMD2007-134 エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2007-134

研究会情報
研究会 EMD  
開催期間 2008-03-07 - 2008-03-07 
開催地(和) 都立産業技術高専(荒川キャンパス) 
開催地(英)  
テーマ(和) ショートノート(卒論・修論特集) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 EMD 
会議コード 2008-03-EMD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 銅表面酸化膜の構造調査 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) An analytical study for copper surface oxide film 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 接触抵抗 / contact resistance  
キーワード(2)(和/英) 銅酸化皮膜 / copper oxide film  
キーワード(3)(和/英) 集中抵抗 / constriction resistance  
キーワード(4)(和/英) 皮膜抵抗 / film resistance  
キーワード(5)(和/英) オージェ電子分光法 / AES  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 小林 健作 / Yousuke Takayashiki / コバヤシ ケンサク
第1著者 所属(和/英) 玉川大学 (略称: 玉川大)
Tamagawa University (略称: Tamagawa Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 小宮 暖 / Atsu Komiya / コミヤ アツ
第2著者 所属(和/英) 玉川大学 (略称: 玉川大)
Tamagawa University (略称: Tamagawa Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 箕輪 功 / Isao Minowa / ミノワ イサオ
第3著者 所属(和/英) 玉川大学 (略称: 玉川大)
Tamagawa University (略称: Tamagawa Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 高屋敷 陽介 / Yousuke Takayashiki / タカヤシキ ヨウスケ
第4著者 所属(和/英) 矢崎総業株式会社 (略称: 矢崎総業)
Yazaki Corporation (略称: Yazaki Corp.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 高田 肇 / Hajime Takada / タカダ ハジメ
第5著者 所属(和/英) 矢崎総業株式会社 (略称: 矢崎総業)
Yazaki Corporation (略称: Yazaki Corp.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡邊 嘉彦 / Yoshihiko Watanabe / ワタナベ ヨシユキ
第6著者 所属(和/英) 矢崎総業株式会社 (略称: 矢崎総業)
Yazaki Corporation (略称: Yazaki Corp.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第7著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第8著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第9著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第10著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第11著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第12著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第13著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第14著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第15著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第16著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第17著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第18著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第19著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第20著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
講演者 第1著者 
発表日時 2008-03-07 15:50:00 
発表時間 15分 
申込先研究会 EMD 
資料番号 EMD2007-134 
巻番号(vol) vol.107 
号番号(no) no.534 
ページ範囲 pp.41-44 
ページ数
発行日 2008-02-29 (EMD) 


[研究会発表申込システムのトップページに戻る]

[電子情報通信学会ホームページ]


IEICE / 電子情報通信学会