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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-04-11 11:25 UV/可視ラマン分光法によるレーザー結晶化ポリシリコン薄膜の応力・結晶性の評価 ○掛村康人・小瀬村大亮・小椋厚志（明大）・野口 隆（琉球大）  SDM2008-6 OME2008-6 |
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| 抄録 | （和） | 低温ポリシリコン（LTPS）薄膜はシステムオングラス実現のためのキーマテリアルである。我々は、高精度・高空間分解能をもつラマン分光器を用いて種々の条件で作製されたLTPS薄膜の応力及び結晶性の詳細評価を行った。実験では、励起光に浸入長の異なる２波長 [λ=364 nm（浸入長5 nm）, 532 nm（浸入長400nm）] を用いた試料の表および裏面からの測定で、最表面、基板界面、および膜全体の平均的な情報を分離したラマン分光解析を行った。結果、LTPSは膜表面、膜内部、界面付近で応力・結晶性が異なる分布を持つことがわかり、この分布はアニール条件で異なることがわかった。 |
| （英） | Low temperature polysilicon (LTPS) thin film is a key material for the systems-on-glass achievement. Depth and in-plane distributions of the crystal qualities in low-temperature polycrystalline Si (LTPS) films fabricated by various annealing conditions with laser annealing were evaluated by high resolution Raman spectroscopy with UV and visible excitation laser sources from the front and back surfaces. Crystal quality and residual stress measured by the Raman peak shift and FWHM significantly depended on the annealing conditions. The depth profile was also unique to each sample. | |
| キーワード | （和） | 低温ポリシリコン / LTPS / システムオングラス / SoG / UVラマン / 擬似線状光源 / / |
| （英） | Low temperature polysilicon / LTPS / systems-on-glass / UV-Raman / Quasi-line excitation sources / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 1, SDM2008-6, pp. 27-32, 2008年4月. | |
| 資料番号 | SDM2008-6 | |
| 発行日 | 2008-04-04 (SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2008-6 OME2008-6 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM OME |
| 開催期間 | 2008-04-11 - 2008-04-12 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawa Seinen Kaikan |
| テーマ（和） | TFTの材料・デバイス技術・応用および一般 |
| テーマ（英） | TFT Materials, Devices, and Applications and Others related to SDM and OME activity |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2008-04-SDM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | UV/可視ラマン分光法によるレーザー結晶化ポリシリコン薄膜の応力・結晶性の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of stress and crystallinity of laser crystallization polysilicon thin film using UV/Visible Raman spectroscopy |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 低温ポリシリコン / Low temperature polysilicon |
| キーワード(2)（和/英） | LTPS / LTPS |
| キーワード(3)（和/英） | システムオングラス / systems-on-glass |
| キーワード(4)（和/英） | SoG / UV-Raman |
| キーワード(5)（和/英） | UVラマン / Quasi-line excitation sources |
| キーワード(6)（和/英） | 擬似線状光源 / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 掛村 康人 / Yasuto Kakemura / カケムラ ヤスト |
| 第1著者 所属（和/英） | 明治大学 (略称： 明大) Meiji University (略称： Meiji Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小瀬村 大亮 / Daisuke Kosemura / コセムラ ダイスケ |
| 第2著者 所属（和/英） | 明治大学 (略称： 明大) Meiji University (略称： Meiji Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小椋 厚志 / Atsushi Ogura / オグラ アツシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 明治大学 (略称： 明大) Meiji University (略称： Meiji Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野口 隆 / Takashi Noguchi / ノグチ タカシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-04-11 11:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2008-6, OME2008-6 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.1(SDM), no.2(OME) |
| ページ範囲 | pp.27-32 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2008-04-04 (SDM, OME) |
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