| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-04-18 14:25 有機薄膜の電着によるMEMSデバイスのスティッキング防止 ○阪田知巳・桑原 啓・佐藤昇男・島村俊重・石井 仁（NTT）・工藤和久・町田克之（NTT-AT）  EMD2008-3 |
|
| 抄録 | （和） | MEMSデバイスにおける駆動時のスティッキング防止技術について述べる．本技術は，可動構造体，あるいは，制御電極が金で作製されるMEMSデバイスに対して，塩酸浸漬によって酸化金を除去する工程と，電着によって制御電極を有機薄膜で被覆する工程からなる．本技術を適用したMEMSデバイスは，高い耐久性を兼ね備えて，可動部と制御電極の間のショートや駆動時のスティッキングを防止した． |
| （英） | This article introduces a technique that prevents sticking between actuator and control electrode in microelectromechanical-system (MEMS) devices. The technique involves the pretreatment with hydrochloric acid dipping and the electrodeposition of organic dielectric film on the gold electrode. Applying this technique to a vibrational MEMS device exhibits an excellent anti-sticking effect between the vibrator and the control electrode, ensuring high durability. | |
| キーワード | （和） | 電着 / ＭＥＭＳ / スティッキング防止 / / / / / |
| （英） | electrodeposition / MEMS / anti-sticking / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 10, EMD2008-3, pp. 13-16, 2008年4月. | |
| 資料番号 | EMD2008-3 | |
| 発行日 | 2008-04-11 (EMD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2008-3 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
| 開催期間 | 2008-04-18 - 2008-04-18 |
| 開催地（和） | NTT武蔵野研究開発センタ |
| 開催地（英） | NTT Musashino Research and Development Center |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMD |
| 会議コード | 2008-04-EMD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 有機薄膜の電着によるMEMSデバイスのスティッキング防止 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electrodeposition of Organic Dielectric Film on MEMS Devices for improvement of Reliability |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電着 / electrodeposition |
| キーワード(2)（和/英） | ＭＥＭＳ / MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | スティッキング防止 / anti-sticking |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阪田 知巳 / Tomomi Sakata / サカタ トモミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corp. (略称： NTT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 桑原 啓 / Kei Kuwabara / クワバラ ケイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corp. (略称： NTT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 昇男 / Norio Sato / サトウ ノリオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corp. (略称： NTT) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島村 俊重 / Toshishige Shimamura / シマムラ トシシゲ |
| 第4著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corp. (略称： NTT) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石井 仁 / Hiromu Ishii / イシイ ヒロム |
| 第5著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corp. (略称： NTT) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 工藤 和久 / Kazuhisa Kudou / クドウ カズヒサ |
| 第6著者 所属（和/英） | NTTアドバンステクノロジ（株） (略称： NTT-AT) NTT Advanced Technology Corp. (略称： NTT-AT) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 町田 克之 / Katsuyuki Machida / マチダ カツユキ |
| 第7著者 所属（和/英） | NTTアドバンステクノロジ（株） (略称： NTT-AT) NTT Advanced Technology Corp. (略称： NTT-AT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-04-18 14:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMD |
| 資料番号 | EMD2008-3 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.10 |
| ページ範囲 | pp.13-16 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2008-04-11 (EMD) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]