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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-06-13 15:45 枚葉洗浄装置の次世代レベルパーティクル性能向上 ○佐野謙一・宮 勝彦・泉 昭・・永徳篤郎（スクリーン）  ED2008-28 |
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| 抄録 | （和） | 3X-nmレベルのパーティクル測定が可能になってきた。本研究ではその微小パーティクル付着に及ぼす装置起因問題、また、微小パーティクル除去に関する課題と対策について詳細に報告する。 |
| （英） | 3X-nm particles have been measured in recent years. This study focused on small particle removal and adhesion in a semiconductor wafer cleaning, countermeasures, as well as key major factors. | |
| キーワード | （和） | 枚葉洗浄 / パーティクル / ２流体スプレー / / / / / |
| （英） | Single-wafer cleaning / Two-fluid spray / particle / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 87, ED2008-28, pp. 35-40, 2008年6月. | |
| 資料番号 | ED2008-28 | |
| 発行日 | 2008-06-06 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2008-28 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2008-06-13 - 2008-06-14 |
| 開催地（和） | 金沢大学 角間キャンパス |
| 開催地（英） | Kanazawa University |
| テーマ（和） | 半導体のプロセス・デバイス（表面、界面、信頼性、一般） |
| テーマ（英） | Process and device technology od semiconductors (surface, interface, reliability, etc.) |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2008-06-ED |
| 本文の言語 | 英語（日本語タイトルあり） |
| タイトル（和） | 枚葉洗浄装置の次世代レベルパーティクル性能向上 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Particle Performance Improvement of Single-Wafer Wet Cleaning for Next Generation |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 枚葉洗浄 / Single-wafer cleaning |
| キーワード(2)（和/英） | パーティクル / Two-fluid spray |
| キーワード(3)（和/英） | ２流体スプレー / particle |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐野 謙一 / Ken-ichi Sano / サノ ケンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 大日本スクリーン製造 (略称： スクリーン) Dainippon Screen MFG. Co, LTD. (略称： Dainippon Screen MFG.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮 勝彦 / Katsuhiko Miya / ミヤ カツヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 大日本スクリーン製造 (略称： スクリーン) Dainippon Screen MFG. Co, LTD. (略称： Dainippon Screen MFG.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 泉 昭 / Akira Izumi / イズミ アキラ |
| 第3著者 所属（和/英） | 大日本スクリーン製造 (略称： スクリーン) Dainippon Screen MFG. Co, LTD. (略称： Dainippon Screen MFG.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | * / Jim Snow / * |
| 第4著者 所属（和/英） | 大日本スクリーン製造 (略称： スクリーン) Dainippon Screen MFG. Co, LTD. (略称： Dainippon Screen MFG.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永徳 篤郎 / Atsuro Eitoku / エイトク アツロウ |
| 第5著者 所属（和/英） | 大日本スクリーン製造 (略称： スクリーン) Dainippon Screen MFG. Co, LTD. (略称： Dainippon Screen MFG.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-06-13 15:45:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2008-28 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.87 |
| ページ範囲 | pp.35-40 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2008-06-06 (ED) |
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