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講演抄録/キーワード
講演名 2008-06-14 09:50
Fluidic Self-AssemblyのためのInGaAs系共鳴トンネルデバイスブロック作製技術
前澤宏一富山大)・亀谷直樹岸本 茂水谷 孝名大)・赤松和弘日鉱金属ED2008-34
抄録 (和) Fluidic Self-Assembly(FSA)は数十ミクロン程度の大きさのデバイスブロックを溶液中で散布し,任意の基板上の必要な位置に配置する技術である.FSAは非常に自由度の高い,ヘテロジニアス・インテグレイション技術であり,これを用いれば,材料によらない集積化が可能になる.これまで,我々はGaAs系のデバイスブロックをAlAs犠牲層を用いてエピタキシャル・リフトオフ法により作製してきた.ここでは,より高速なデバイスが作製可能なInP系デバイスブロックの作製技術について述べた. 
(英) Fluidic Self-Assembly (FSA) is an innovative technique for heterogeneous integration. This technique enables us to assemble small device blocks, the size of which is in a range of 10 $\mu$m to 1 mm, on a various substrate. In this paper, we discuss the fabrication process for the device blocks made of InGaAs/InAlAs material system for the FSA, which is suitable for ultrahigh speed applications. We first tried to use InP substrate itself for sacrificial layer to fabricate InAlAs blocks. It was found, however, anomalous etching occurs in the InAlAs blcok layer, and it makes difficult to fabricate blocks. Then we investigated new process using mechanical polishing and etching from the backside of the substrate. With this process good device blocks containing resonant tunneling diodes were fabricated. Some circuits were also demonstrated with these device blocks.
キーワード (和) ヘテロジニアス・インテグレイション / 共鳴トンネル / InP / / / / /  
(英) heterogeneous integration / resonant tunneling / InP / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 108, no. 87, ED2008-34, pp. 67-72, 2008年6月.
資料番号 ED2008-34 
発行日 2008-06-06 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2008-34

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2008-06-13 - 2008-06-14 
開催地(和) 金沢大学 角間キャンパス 
開催地(英) Kanazawa University 
テーマ(和) 半導体のプロセス・デバイス(表面、界面、信頼性、一般) 
テーマ(英) Process and device technology od semiconductors (surface, interface, reliability, etc.) 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2008-06-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) Fluidic Self-AssemblyのためのInGaAs系共鳴トンネルデバイスブロック作製技術 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication of Resonant Tunneling Devic Blocks for Fluidic Self-Assembly 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ヘテロジニアス・インテグレイション / heterogeneous integration  
キーワード(2)(和/英) 共鳴トンネル / resonant tunneling  
キーワード(3)(和/英) InP / InP  
キーワード(4)(和/英) /  
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キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 前澤 宏一 / Koichi Maezawa / マエザワ コウイチ
第1著者 所属(和/英) 富山大学 (略称: 富山大)
University of Toyama (略称: Univ. Toyama)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 亀谷 直樹 / Naoki Kamegai / カメガイ ナオキ
第2著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 岸本 茂 / Shigeru Kishimoto / キシモト シゲル
第3著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 水谷 孝 / Takashi Mizutani / ミズタニ タカシ
第4著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 赤松 和弘 / Kazuhiro Akamatsu / アカマツ カズヒロ
第5著者 所属(和/英) 日鉱金属株式会社 (略称: 日鉱金属)
Nippon Mining & Metals Co.,Ltd. (略称: Nippon Mining & Metals)
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講演者 第1著者 
発表日時 2008-06-14 09:50:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2008-34 
巻番号(vol) vol.108 
号番号(no) no.87 
ページ範囲 pp.67-72 
ページ数
発行日 2008-06-06 (ED) 


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