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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-10-31 09:25 Mg膜とNi膜の膜厚比を変化させたMg-Ni薄膜の光学的特性 ○平田 真・岡田智弘・清水英彦・岩野春男・川上貴浩（新潟大）  CPM2008-83 |
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| 抄録 | （和） | Mg膜とNi膜を交互に積層する方法により，Mg膜とNi膜の膜厚比を変化させてMg-Ni膜を作製し，水素と反応させる前の薄膜の構造と光学的特性の関係の検討を行った。その結果，希釈された水素雰囲気中での透過率を向上させるためには，Mg膜とNi膜の界面に形成されるMg-Ni合金の生成量に適量があることが分かった。スパッタガス圧が高くなると，スパッタ粒子のエネルギー低くなり，Mg膜とNi膜の界面で合金形成量が減少すると考えられるが，試料膜の全体の膜厚が異なっている可能性があるため，さらなる検討が必要であることが分かった。 |
| （英） | In order to examine the relations between the microstructure of the Mg-Ni film before hydrogen absorption and switchable mirror effect, Mg-Ni films were deposited by the changing the thickness ratio of the Mg film and the Ni film using alternate layer deposition of Mg film and Ni film by sputtering method. As a result, it was necessary to control the amount of the Mg-Ni alloy formed to the interface of the Mg film and the Ni film to improve transmittance of the Mg-Ni film with visible optical area in the diluted hydrogen gas atmosphere. When the sputtering gas pressure is high, it is thought that the amount of the Mg-Ni alloy formed to the interface of the Mg film and the Ni film decreases due to became the low energy of sputtering particles. | |
| キーワード | （和） | Mg-Ni / 交互積層 / 調光ミラー / / / / / |
| （英） | Mg-Ni / Alternate Deposition / Switching mirror / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 269, CPM2008-83, pp. 47-52, 2008年10月. | |
| 資料番号 | CPM2008-83 | |
| 発行日 | 2008-10-23 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2008-83 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2008-10-30 - 2008-10-31 |
| 開催地（和） | 新潟大学 |
| 開催地（英） | Niigata Univ. |
| テーマ（和） | 薄膜プロセス・材料、一般 |
| テーマ（英） | Process of Thin Film formation and Materials, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2008-10-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Mg膜とNi膜の膜厚比を変化させたMg-Ni薄膜の光学的特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Optical properties of Mg-Ni thin films that changes the ratio of the thickness |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Mg-Ni / Mg-Ni |
| キーワード(2)（和/英） | 交互積層 / Alternate Deposition |
| キーワード(3)（和/英） | 調光ミラー / Switching mirror |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平田 真 / Makoto Hirata / ヒラタ マコト |
| 第1著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 智弘 / Tomohiro Okada / オカダ トモヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu / シミズ ヒデヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩野 春男 / Haruo Iwano / イワノ ハルオ |
| 第4著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 川上 貴浩 / Takahiro Kawakami / カワカミ タカヒロ |
| 第5著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-10-31 09:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2008-83 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.269 |
| ページ範囲 | pp.47-52 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2008-10-23 (CPM) |
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