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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-11-14 15:25 極微細MOSFETにおけるゲートトンネル電流の3次元NEGFシミュレーション ○三成英樹・西谷大祐・森 伸也（阪大）  SDM2008-180 |
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| 抄録 | （和） | 非平衡グリーン関数法を用いた3 次元量子輸送シミュレーションを極微細MOSFET について行った．シミュレーションの結果，チャネル領域からゲート電極へトンネルするキャリアの透過関数はエネルギーが高くなるにつれ減少することが分かった．また，界面ラフネスのあるデバイスのトンネル電流についても計算した． |
| （英） | We have numerically studied gate-tunneling in ultra-small MOSFETs within a three-dimensional nonequilibrium Green’s function (NEGF) formalism. Simulation results show that the tunnel transmission to gate decreases with energy. We also investigate effects of interface roughness on gate-tunneling. | |
| キーワード | （和） | シリコン / MOSFET / 非平衡グリーン関数法 / ゲートリーク電流 / 界面ラフネス / / / |
| （英） | Silicon / MOSFET / NEGF / Gate leakage current / Surface roughness / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 292, SDM2008-180, pp. 67-70, 2008年11月. | |
| 資料番号 | SDM2008-180 | |
| 発行日 | 2008-11-06 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2008-180 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2008-11-13 - 2008-11-14 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit Simulation, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2008-11-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 極微細MOSFETにおけるゲートトンネル電流の3次元NEGFシミュレーション |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Three-dimensional NEGF simulation of gate tunnel current in ultra-small MOSFETs |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコン / Silicon |
| キーワード(2)（和/英） | MOSFET / MOSFET |
| キーワード(3)（和/英） | 非平衡グリーン関数法 / NEGF |
| キーワード(4)（和/英） | ゲートリーク電流 / Gate leakage current |
| キーワード(5)（和/英） | 界面ラフネス / Surface roughness |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三成 英樹 / Hideki Minari / ミナリ ヒデキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西谷 大祐 / Daisuke Nishitani / ニシタニ ダイスケ |
| 第2著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森 伸也 / Nobuya Mori / モリ ノブヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-11-14 15:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2008-180 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.292 |
| ページ範囲 | pp.67-70 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2008-11-06 (SDM) |
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