講演抄録/キーワード |
講演名 |
2008-11-27 16:50
周期溝加工基板上への減圧HVPE法によるAlN成長と評価 ○片桐佑介・奥浦一輝・呉 潔君・三宅秀人・平松和政(三重大)・江崎哲也・桑野範之(九大) ED2008-166 CPM2008-115 LQE2008-110 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2008-166 CPM2008-115 LQE2008-110 |
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文献情報 |
信学技報, vol. 108, no. 323, LQE2008-110, pp. 65-70, 2008年11月. |
資料番号 |
LQE2008-110 |
発行日 |
2008-11-20 (ED, CPM, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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