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講演抄録/キーワード
講演名 2008-11-27 16:25
AlGaNのMOVPE成長中における基板の反り制御
小川原悠哉生川満久三宅秀人平松和政三重大ED2008-165 CPM2008-114 LQE2008-109
抄録 (和) (まだ登録されていません) 
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文献情報 信学技報, vol. 108, no. 323, LQE2008-109, pp. 61-64, 2008年11月.
資料番号 LQE2008-109 
発行日 2008-11-20 (ED, CPM, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2008-165 CPM2008-114 LQE2008-109

研究会情報
研究会 LQE ED CPM  
開催期間 2008-11-27 - 2008-11-28 
開催地(和) 名古屋工業大学 
開催地(英) Nagoya Institute of Technology 
テーマ(和) 窒化物半導体光・電子デバイス・材料,及び関連技術,及び一般 
テーマ(英) Nitride Based Optical and Electronic Devices, Materials and Related Technologies 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 LQE 
会議コード 2008-11-LQE-ED-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) AlGaNのMOVPE成長中における基板の反り制御 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Control of substrate curvature during MOVPE growth of AlGaN 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 小川原 悠哉 / Yuya Ogawahara / オガワハラ ユウヤ
第1著者 所属(和/英) 三重大学 (略称: 三重大)
Mie University (略称: Mie Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 生川 満久 / Mitsuhisa Narukawa / ナルカワ ミツヒサ
第2著者 所属(和/英) 三重大学 (略称: 三重大)
Mie University (略称: Mie Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 三宅 秀人 / Hideto Miyake / ミヤケ ヒデト
第3著者 所属(和/英) 三重大学 (略称: 三重大)
Mie University (略称: Mie Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 平松 和政 / Kazumasa Hiramatsu /
第4著者 所属(和/英) 三重大学 (略称: 三重大)
Mie University (略称: Mie Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2008-11-27 16:25:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 LQE 
資料番号 ED2008-165, CPM2008-114, LQE2008-109 
巻番号(vol) vol.108 
号番号(no) no.321(ED), no.322(CPM), no.323(LQE) 
ページ範囲 pp.61-64 
ページ数
発行日 2008-11-20 (ED, CPM, LQE) 


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