講演抄録/キーワード |
講演名 |
2009-01-29 08:30
位相マスクを用いたブレーズグレーティングの作製 ○粟津英行(京都工繊大)・金高健二(産総研)・西尾謙三・粟辻安浩・裏 升吾(京都工繊大)・西井準治(産総研) PN2008-42 OPE2008-145 LQE2008-142 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2008-145 LQE2008-142 |
抄録 |
(和) |
高生産のブレーズグレーティング作製法として,位相マスクによる干渉露光法を検討している.位相マスクで複数の回折光を生成し,空隙を伝搬させた後にフーリエ合成により鋸歯状光強度分布を形成し,レジストを露光する手法である.3$\mu$m周期の鋸歯状光強度分布形成用位相マスクを設計,作製した.電子ビーム直接描画リソグラフィにより$SiO_{2}$基板表面を65nm深さの凹凸に加工して,位相マスクを得た.位相マスク裏面から波長244nmのレーザ光を照射して,凹凸表面から15$\mu$m離れた位置で3$\mu$m周期の鋸歯状光強度分布を確認した.UVレジストを塗布した基板を空隙15$\mu$m介して位相マスクに対向させ設置,露光,現像してレジストに鋸歯形状を作製した. |
(英) |
A new simple interference exposure method using a phase-shifting mask was discussed on the basis of Fourier synthesis for fabricating blazed gratings. The phase-shifting mask consists of a periodic relief pattern and provides a required phase shift. The phase shifting was designed with 244nm exposure-light wavelength to launch multiple diffraction beams so that the resultant interference pattern formed a 3-$\mu$m-period sawtooth optical-intensity profile. A photoresist was coated on a $SiO_{2}$ substrate. A relief of 65nm height was patterned on the $SiO_{2}$ substrate by electron-beam direct writing lithography. A plane wave was illuminated from the rear side of the phase-shifting mask and a sawtooth-like optical intensity profile was observed after 15$\mu$m propagation. A UV-photoresist layer coated on a substrate was exposed by the sawtooth-like intensity pattern and developed. |
キーワード |
(和) |
位相マスク / ブレーズグレーティング / 微細加工技術 / 回折光学素子 / 干渉露光 / 近接場フォトリソグラフィ / / |
(英) |
Phase-Shifting Mask / Blazed Gratings / Microfabrication Technique / Diffraction Optical Element / Interference Exposure / Near-Field Photolithography / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 108, no. 419, LQE2008-142, pp. 1-6, 2009年1月. |
資料番号 |
LQE2008-142 |
発行日 |
2009-01-22 (PN, OPE, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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