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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-05-14 14:20 RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成における石英円筒の効果 ○細川貴之・関川智士・以西雅章（静岡大）  ED2009-20 CPM2009-10 SDM2009-10 |
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| 抄録 | （和） | RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn2O4薄膜を生成している。ターゲットには、LiMn2O4粉末を用い、連続して複数回のスパッタを行った。本研究は、反応性スパッタリング中での、ターゲットの酸化防止法として考案された。ターゲットとシャッター間に石英円筒を設置し、蒸着速度の変化、薄膜結晶性を調べた。石英円筒を使用することにより蒸着速度が増加した。また、XRD測定を行った結果、30分の蒸着でLiMn2O4薄膜が生成できた。 |
| （英） | The LiMn2O4 films for Li secondary batteries have been prepared by a RF magnetron sputtering method. The LiMn2O4 powder was used as a target material. This research was aimed at preventing oxidation of target during the reactive sputtering process. A quartz tube was inserted between shutter and target. The deposition rate, XRD were investigated. It was found that the deposition rate has increased because of using a quartz tube. It was also found that the film has a crystallinity of LiMn2O4 after 30 min deposition. | |
| キーワード | （和） | LiMn2O4薄膜 / RFマグネトロンスパッタリング / Li二次電池 / / / / / |
| （英） | LiMn2O4 thin film / RF magnetron sputtering / Li secondary batteries / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 24, CPM2009-10, pp. 11-15, 2009年5月. | |
| 資料番号 | CPM2009-10 | |
| 発行日 | 2009-05-07 (ED, CPM, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-20 CPM2009-10 SDM2009-10 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED CPM SDM |
| 開催期間 | 2009-05-14 - 2009-05-15 |
| 開催地（和） | 豊橋技科大サテライトオフィス |
| 開催地（英） | Satellite Office, Toyohashi Univ. of Technology |
| テーマ（和） | 結晶成長，評価及びデバイス（化合物，Si，SiGe，電子・光材料） |
| テーマ（英） | Crystal growth, evaluation and device (Compound, Si, SiGe, Electronic and light emitting materials） |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2009-05-ED-CPM-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成における石英円筒の効果 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effect of quartz tube on crystal properties of LiMn2O4 films prepared by RF magnetron sputtering |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | LiMn2O4薄膜 / LiMn2O4 thin film |
| キーワード(2)（和/英） | RFマグネトロンスパッタリング / RF magnetron sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | Li二次電池 / Li secondary batteries |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 細川 貴之 / Takayuki Hosokawa / ホソカワ タカユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 関川 智士 / Satoshi Sekigawa / セキガワ サトシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 以西 雅章 / Masaaki Isai / イサイ マサアキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-05-14 14:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | ED2009-20, CPM2009-10, SDM2009-10 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.23(ED), no.24(CPM), no.25(SDM) |
| ページ範囲 | pp.11-15 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2009-05-07 (ED, CPM, SDM) |
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