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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-05-14 13:30 青色EL素子用SrS:Cu薄膜の作製と評価 ○以西雅章・倉地雄史・山田典史・武内俊憲・宝珍敬志（静岡大）  ED2009-18 CPM2009-8 SDM2009-8 |
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| 抄録 | （和） | 青色EL発光特性向上のために、SrS:Cu薄膜EL (Electroluminescent Element) 素子の作製条件を調査した。蒸発物の錠剤（ペレット）の焼成条件は、焼成温度600 ℃、焼成時間1時間とし、発光中心Cu2Sの濃度は、0.3 mol%一定とした。SrS:Cu発光層の膜厚を変数として、結晶特性の膜厚依存性を調べた。その結果、発光層の膜厚、蒸着時間が、それぞれ、約18000Å、180分の条件が最も結晶特性が良かった。熱処理温度の最適化では、最高温度700℃の急速アニールが最も効果があった。DFM (Dynamic Force Measurement) 測定では、熱処理温度が700℃の場合が最もEL素子表面の粗さが小さかった。 |
| （英） | Preparation condition of SrS:Cu thin film electroluminescent element (EL) elements was investigated to improve blue-EL- emission properties. The sintering temperature and time were fixed at 600℃ and 1ｈ, respectively. The Cu2S concentration of 0.3 mol% was used. The effect of the thickness of SrS:Cu emission layer on the crystallinity of EL elements was investigated. It was found that the best crystallinity was obtained under the thickness and deposition time of 18000Å and 3h , respectively. A rapid thermal annealing (RTA) process at 700℃ was also effective to improve crystallinity of EL elements. This RTA process was better than the normal annealing process at 450℃, 2min. From a dynamic force measurement (DFM), The surface roughness of EL elements was smallest after the RTA annealing at 700℃, 2 min. | |
| キーワード | （和） | 青色発光素子 / SrS:Cu薄膜 / 発光層 / / / / / |
| （英） | EL (Electroluminescent Element) / Blue emission elements / SrS:Cu films / Emission layer / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 24, CPM2009-8, pp. 1-5, 2009年5月. | |
| 資料番号 | CPM2009-8 | |
| 発行日 | 2009-05-07 (ED, CPM, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-18 CPM2009-8 SDM2009-8 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED CPM SDM |
| 開催期間 | 2009-05-14 - 2009-05-15 |
| 開催地（和） | 豊橋技科大サテライトオフィス |
| 開催地（英） | Satellite Office, Toyohashi Univ. of Technology |
| テーマ（和） | 結晶成長，評価及びデバイス（化合物，Si，SiGe，電子・光材料） |
| テーマ（英） | Crystal growth, evaluation and device (Compound, Si, SiGe, Electronic and light emitting materials） |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2009-05-ED-CPM-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 青色EL素子用SrS:Cu薄膜の作製と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation and Evaluation of SrS:Cu films for blue EL elements |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 青色発光素子 / EL (Electroluminescent Element) |
| キーワード(2)（和/英） | SrS:Cu薄膜 / Blue emission elements |
| キーワード(3)（和/英） | 発光層 / SrS:Cu films |
| キーワード(4)（和/英） | / Emission layer |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 以西 雅章 / Masaaki Isai / イサイ マサアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 倉地 雄史 / Yuji Kurachi / クラチ ユウジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山田 典史 / Norifumi Yamada / ヤマダ ノリフミ |
| 第3著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 武内 俊憲 / Toshinori Takeuchi / タケウチ トシノリ |
| 第4著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宝珍 敬志 / Takashi Hochin / ホウチン タカシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-05-14 13:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | ED2009-18, CPM2009-8, SDM2009-8 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.23(ED), no.24(CPM), no.25(SDM) |
| ページ範囲 | pp.1-5 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2009-05-07 (ED, CPM, SDM) |
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