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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-06-11 13:50 導波路管型高周波超音波洗浄機によるCMP後洗浄 ○鈴木一成（カイジョー/芝浦工大）・潘 毅・岡野勝一・副島潤一郎（カイジョー）・小池義和（芝浦工大）  ED2009-37 |
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| 抄録 | （和） | 半導体枚葉洗浄において，石英導波路管を伝搬体とした新しい超音波洗浄機用振動子を提案する．中実棒を伝搬体とした場合，超音波は縦振動で伝搬し，定在波による振動分布が生じる．一方で導波路管壁での超音波は横(屈曲)振動で伝搬し，進行波成分が増す．また，導波路管壁は伝搬液を経由した音源振動により間接的に駆動する，導波路管壁面振動には伝搬液内で生成された高調波成分が観測される．枚葉スピン洗浄機に導波路管型振動子を搭載し，CMP 後洗浄での微粒子除去率(PRE: Particle removal efficiency)との関連を評価した． |
| （英） | At single wafer processing, we proposed novel ultrasonic cleaning equipment using the waveguide tube made of quartz. At conventional rod type equipment, ultrasonic waves propagate as longitudinal wave and it form standing wave. On the other hand, at waveguide type equipment, ultrasonic waves propagate as transverse wave and it form traveling wave. Hence,waveguide wall vibrated by sound source through the propagation liquid. Harmonics was confirmed in vibration of the waveguide wall, and harmonics might be generated in propagation liquid. Particle removal efficiency (PRE) was evaluated at post–CMP cleaning, using waveguide and rod type equipment installed in the spin cleaner. |
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| キーワード | （和） | 超音波洗浄 / CMP 後洗浄 / 導波路モード / LDV 測定 / / / / |
| （英） | Ultrasonic Cleaning / CMP Cleaning / Waveguide mode / LDV Measurement / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 81, ED2009-37, pp. 7-10, 2009年6月. | |
| 資料番号 | ED2009-37 | |
| 発行日 | 2009-06-04 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-37 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2009-06-11 - 2009-06-12 |
| 開催地（和） | 東京工業大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 半導体のプロセス・デバイス（表面，界面，信頼性），一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2009-06-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 導波路管型高周波超音波洗浄機によるCMP後洗浄 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Post CMP Cleaning by Megasonic Using Waveguide Tube Type Equipment |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超音波洗浄 / Ultrasonic Cleaning |
| キーワード(2)（和/英） | CMP 後洗浄 / CMP Cleaning |
| キーワード(3)（和/英） | 導波路モード / Waveguide mode |
| キーワード(4)（和/英） | LDV 測定 / LDV Measurement |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 一成 / Kazunari Suzuki / スズキ カズナリ |
| 第1著者 所属（和/英） | 株式会社カイジョー/芝浦工業大学 (略称： カイジョー/芝浦工大) Kaijo Corporation/Shibaura Institute of Technology (略称： Kaijo Corp./Shibaura Inst. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 潘 毅 / Ki Han / ハン キ |
| 第2著者 所属（和/英） | 株式会社カイジョー (略称： カイジョー) Kaijo Corporation (略称： Kaijo Corp.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡野 勝一 / Shouichi Okano / オカノ ショウイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 株式会社カイジョー (略称： カイジョー) Kaijo Corporation (略称： Kaijo Corp.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 副島 潤一郎 / Junichiro Soejima / ソエジマ ジュンイチロウ |
| 第4著者 所属（和/英） | 株式会社カイジョー (略称： カイジョー) Kaijo Corporation (略称： Kaijo Corp.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小池 義和 / Yoshikazu Koike / コイケ ヨシカズ |
| 第5著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学 (略称： 芝浦工大) Shibaura Institute of Technology (略称： Shibaura Inst. of Tech.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-06-11 13:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2009-37 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.81 |
| ページ範囲 | pp.7-10 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-06-04 (ED) |
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