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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-06-19 14:50 エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用 ○山口貴志・久米章博（豊橋技科大）・内田裕久（東北工大）・井上光輝（豊橋技科大）  EMD2009-16 CPM2009-28 OME2009-23 |
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| 抄録 | （和） | 本研究は，エアロゾルデポジッション（Aerosol deposition: AD）法を用いて，数m以上の厚さをもつPLZT [(Pb0.91,La0.09)(Zr0.65,Ti0.35)O3] 膜を組み込んだマイクロキャビティ電気光学（Electro-optic: EO）変調器を形成し，これを空間光変調器（Spatial light modulator: SLM）に応用しようとするものである．PLZT膜を組み込んだマイクロキャビティEO変調器は，電界の印加で光局在波長が変化するので，これを利用した光強度変調ができる．実際，作製した変調器は，PLZT膜に400 kV/cmの電界印加によって，光局在波長を約1 nmシフトさせることができ，その結果，波長777 nmで反射率変化7.2 %を得た．このマイクロキャビティEO変調器の上部ITO透明電極をピクセル状にパターン化して，2×2 EOSLMを形成した．400 kV/cmの電界を印加することで，ピクセルイメージの反射光輝度変化を確認した． |
| （英） | In this study, electro-optic (EO) micro-cavity with a PLZT [(Pb0.91,La0.09)(Zr0.65,Ti0.35)O3] thick film was fabricated by aerosol deposition (AD) method for applications in spatial light modulator (SLM). In the EO micro-cavity using the PLZT film, because a refractive index of the PLZT film is changed by applying an electrical field, an optical thickness of the PLZT film can change. Therefore, the wavelength of center of the localized mode will change, so that transmittance or reflectance of light changes even if wavelength of light is constant. When electric field of 400 kV/cm was applied the micro-cavity with the PLZT, the wavelength of center of the localized mode was shifted about 1.0 nm at 777 nm, and the change of 7.2% in the reflectance was obtained. Furthermore, we tried to fabricate an electro-optic spatial light modulator (EOSLM) with two dimensional 2x2 pixels, which was used the PLZT film deposited by the AD method. When electrical field of 400 kV/cm was applied to a pixel of the EOSLM, changes in its reflectance was observed. | |
| キーワード | （和） | エアロゾルデポジッション法 / PLZT / 電気光学空間光変調器 / マイクロキャビティ / / / / |
| （英） | Aerosol deposition method / PLZT / Electro-optic spatial light modulator / Micro-cavity / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 90, CPM2009-28, pp. 11-16, 2009年6月. | |
| 資料番号 | CPM2009-28 | |
| 発行日 | 2009-06-12 (EMD, CPM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2009-16 CPM2009-28 OME2009-23 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM EMD OME |
| 開催期間 | 2009-06-19 - 2009-06-19 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 材料デバイスサマーミーティング |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2009-06-CPM-EMD-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of PLZT thick films formed by aerosol deposition method and application for electro-optic spatial light modulator |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | エアロゾルデポジッション法 / Aerosol deposition method |
| キーワード(2)（和/英） | PLZT / PLZT |
| キーワード(3)（和/英） | 電気光学空間光変調器 / Electro-optic spatial light modulator |
| キーワード(4)（和/英） | マイクロキャビティ / Micro-cavity |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山口 貴志 / Takashi Yamaguchi / ヤマグチ タカシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久米 章博 / Akihiro Kume / クメ アキヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内田 裕久 / Hironaga Uchida / ウチダ ヒロナガ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北工業大学 (略称： 東北工大) Tohoku Institute of Technology (略称： Tohoku Inst. of Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井上 光輝 / Mitsuteru Inoue / イノウエ ミツテル |
| 第4著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第5著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第6著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-06-19 14:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | EMD2009-16, CPM2009-28, OME2009-23 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.89(EMD), no.90(CPM), no.91(OME) |
| ページ範囲 | pp.11-16 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-06-12 (EMD, CPM, OME) |
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