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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-06-19 15:35 システマティック故障を検出するための故障診断技術と事例 ○山元廣志・和田弘樹・小串 亨・中尾教伸（ルネサステクノロジ）  DC2009-17 |
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| 抄録 | （和） | 半導体製造プロセスの微細化や複雑化に伴い，故障モードが多様となっており，製品の歩留り向上・品質確保のためには，その製品での故障診断が必須となっている． 特にシステマティック故障とよばれる，歩留り低下の主要因となっている故障を早期に検出することが求められている． その対応として，スキャンテスト等のDFTを利用したソフトウェア故障診断技術を用い，多量のチップを対象にした診断技術（ボリューム診断）やそれらの統計的分析手法が注目されている． 本稿では，ボリューム診断やシステマティック故障検出のために必要な技術を整理し，その事例を紹介する． |
| （英） | Fault diagnosis for products is important for yield learning of the deep sub-micron technology due to various failure mode. Especially, systematic faults, which are main causes of yield loss, should be identified in a short time. For this challenge, volume diagnosis and statistical analysis using scan-based fault identification technique have been presented. This presentation illustrates the techniques for volume diagnosis and detection of systematic faults, and also shows its application. |
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| キーワード | （和） | 故障診断 / ボリューム診断 / システマティック故障 / / / / / |
| （英） | Fault diagnosis / Volume diagnosis / Systematic faults / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 95, DC2009-17, pp. 35-35, 2009年6月. | |
| 資料番号 | DC2009-17 | |
| 発行日 | 2009-06-12 (DC) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | DC2009-17 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | DC |
| 開催期間 | 2009-06-19 - 2009-06-19 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 設計／テスト／検証 |
| テーマ（英） | Design, Test, Verification |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | DC |
| 会議コード | 2009-06-DC |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | システマティック故障を検出するための故障診断技術と事例 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Case study: Fault diagnosis for detecting systematic fault |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 故障診断 / Fault diagnosis |
| キーワード(2)（和/英） | ボリューム診断 / Volume diagnosis |
| キーワード(3)（和/英） | システマティック故障 / Systematic faults |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山元 廣志 / Hiroshi Yamamoto / ヤマモト ヒロシ |
| 第1著者 所属（和/英） | (株)ルネサステクノロジ (略称： ルネサステクノロジ) Renesas Technology Corp. (略称： Renesas Tech. Corp.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 和田 弘樹 / Hiroki Wada / ワダ ヒロキ |
| 第2著者 所属（和/英） | (株)ルネサステクノロジ (略称： ルネサステクノロジ) Renesas Technology Corp. (略称： Renesas Tech. Corp.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小串 亨 / Toru Ogushi / オグシ トオル |
| 第3著者 所属（和/英） | (株)ルネサステクノロジ (略称： ルネサステクノロジ) Renesas Technology Corp. (略称： Renesas Tech. Corp.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中尾 教伸 / Michinobu Nakao / ナカオ ミチノブ |
| 第4著者 所属（和/英） | (株)ルネサステクノロジ (略称： ルネサステクノロジ) Renesas Technology Corp. (略称： Renesas Tech. Corp.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-06-19 15:35:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | DC |
| 資料番号 | DC2009-17 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.95 |
| ページ範囲 | p.35 |
| ページ数 | 1 |
| 発行日 | 2009-06-12 (DC) |
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