研究会情報 |
研究会 |
SDM ED |
開催期間 |
2009-06-24 - 2009-06-26 |
開催地(和) |
海雲台グランドホテル(釜山、韓国) |
開催地(英) |
Haeundae Grand Hotel, Busan, Korea |
テーマ(和) |
第17回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2009) |
テーマ(英) |
2009 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
SDM |
会議コード |
2009-06-SDM-ED |
本文の言語 |
英語 |
タイトル(和) |
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サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Study on Compositional Transition Layers at Gate Dielectrics/Si Interface by using Angle-resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
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キーワード(2)(和/英) |
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キーワード(3)(和/英) |
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キーワード(4)(和/英) |
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キーワード(5)(和/英) |
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キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
諏訪 智之 / Tomoyuki Suwa / |
第1著者 所属(和/英) |
東北大学 未来科学技術共同研究センター (略称: 東北大)
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
Takashi Aratani / Takashi Aratani / |
第2著者 所属(和/英) |
信越化学 (略称: 信越化学)
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. (略称: Shin-Etsu Chemical) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
Masaaki Higuchi / Masaaki Higuchi / |
第3著者 所属(和/英) |
(株)東芝 (略称: 東芝)
TOSHIBA CORPORATION, (略称: TOSHIBA) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
Sigetoshi Sugawa / Sigetoshi Sugawa / |
第4著者 所属(和/英) |
東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
Eiji Ikenaga / Eiji Ikenaga / |
第5著者 所属(和/英) |
財団法人高輝度光科学研究センター (略称: 高輝度光科学研究センター)
Japan Synchrotron Radiation Research Institute (略称: JASRI) |
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
Jiro Ushio / Jiro Ushio / |
第6著者 所属(和/英) |
日立 (略称: 日立)
Hitachi, Ltd. (略称: Hitachi) |
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
Hiroshi Nohira / Hiroshi Nohira / |
第7著者 所属(和/英) |
Musashi Institute. of Technology. (略称: 武蔵工大)
Musashi Institute. of Technology. (略称: Musashi Inst. of Tech.) |
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) |
Akinobu Teramoto / Akinobu Teramoto / |
第8著者 所属(和/英) |
東北大学 未来科学技術共同研究センター (略称: 東北大)
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) |
Tadahiro Ohmi / Tadahiro Ohmi / |
第9著者 所属(和/英) |
東北大学 未来科学技術共同研究センター (略称: 東北大)
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
Takeo Hattori / Takeo Hattori / |
第10著者 所属(和/英) |
東北大学 未来科学技術共同研究センター (略称: 東北大)
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第11著者 所属(和/英) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 所属(和/英) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 所属(和/英) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 所属(和/英) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 所属(和/英) |
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(略称: ) |
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 所属(和/英) |
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第17著者 所属(和/英) |
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第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第18著者 所属(和/英) |
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第19著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第19著者 所属(和/英) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 所属(和/英) |
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(略称: ) |
講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2009-06-25 12:00:00 |
発表時間 |
15分 |
申込先研究会 |
SDM |
資料番号 |
ED2009-86, SDM2009-81 |
巻番号(vol) |
vol.109 |
号番号(no) |
no.97(ED), no.98(SDM) |
ページ範囲 |
pp.157-160 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2009-06-17 (ED, SDM) |