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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-07-31 10:40 MEMS技術を用いた次世代ロボット用多軸触覚センサの作製 ○寒川雅之・金島 岳（阪大）・山下 馨・野田 実（京都工繊大/阪大）・奥山雅則（阪大）・野間春生（ATR）  ED2009-110 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2009-110 |
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| 抄録 | （和） | エラストマー内に埋め込まれたマイクロカンチレバー構造を用いた圧力と剪断力を同時に計測できる多軸触覚アレイセンサの設計・作製を行った． Cr/Si二層構造を用いることで，圧力・剪断力双方で変形する傾斜形状のカンチレバーを作製できた． 傾斜カンチレバー構造はエラストマー内に破損や変形なしに埋め込むことができ，表面の柔らかい触覚センサを実現できた． 対向したカンチレバーの垂直圧力印加に対する出力は同符号となり， 一方剪断力印加に対しては異符号となったので，出力の和・差分を取ることで圧力・剪断力を分離して計測可能であることを示した． また，剪断力の方向については，印加した方向のカンチレバーの出力電圧は大きく，それと垂直な方向のカンチレバーは小さかったため， これらの出力から剪断力の方向を検知することができると考えられる． |
| （英） | Tactile array sensors with macro-cantilevers embedded in elastomer which can detect both normal and shear stresses have been designed and fabricated. Inclined cantilevers sensitive to normal and shear stresses can be obtained by using Cr/Si bilayer structure. These cantilevers can be successfully embedded in the elastomer without their destruction. The outputs from opposite cantilevers are same signs in the case of normal stress application, but the outputs are opposite signs in the case of shear stress. So, normal and shear stresses can be distinguished by summation and difference of outputs, respectively. Moreover, it is found that the direction of shear stress can be decided from direction of respondent cantilevers. |
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| キーワード | （和） | 触覚センサ / 表面マイクロマシニング / カンチレバー / エラストマー / 有限要素法 / / / |
| （英） | tactile sensor / surface micromachining / cantilever / elastomer / finite element method / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 157, ED2009-110, pp. 41-46, 2009年7月. | |
| 資料番号 | ED2009-110 | |
| 発行日 | 2009-07-23 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-110 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2009-110 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2009-07-30 - 2009-07-31 |
| 開催地（和） | 大阪大学（銀杏会館） |
| 開催地（英） | Osaka Univ. Icho-Kaikan |
| テーマ（和） | センサーデバイス，MEMS，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2009-07-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | MEMS技術を用いた次世代ロボット用多軸触覚センサの作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Multi-axis Tactile Sensor for Future Robots by Using Microelectromechanical Systems |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 触覚センサ / tactile sensor |
| キーワード(2)（和/英） | 表面マイクロマシニング / surface micromachining |
| キーワード(3)（和/英） | カンチレバー / cantilever |
| キーワード(4)（和/英） | エラストマー / elastomer |
| キーワード(5)（和/英） | 有限要素法 / finite element method |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寒川 雅之 / Masayuki Sohgawa / ソウガワ マサユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金島 岳 / Takeshi Kanashima / カナシマ タケシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山下 馨 / Kaoru Yamashita / ヤマシタ カオル |
| 第3著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 (略称： 京都工繊大/阪大) Kyoto Institute of Technology (略称： Kyoto Inst. Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野田 実 / Minoru Noda / ノダ ミノル |
| 第4著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 (略称： 京都工繊大/阪大) Kyoto Institute of Technology (略称： Kyoto Inst. Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 奥山 雅則 / Masanori Okuyama / オクヤマ マサノリ |
| 第5著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野間 春生 / Haruo Noma / ノマ ハルオ |
| 第6著者 所属（和/英） | 株式会社国際電気通信基礎技術研究所 (略称： ATR) Advanced Telecommunication Research Institute International (略称： ATR) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-07-31 10:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2009-110 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.157 |
| ページ範囲 | pp.41-46 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-07-23 (ED) |
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