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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-10-01 15:20 ［招待講演］集積化MEMSとバイオメディカルMEMS ○江刺正喜（東北大）  ICD2009-44 |
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| 抄録 | （和） | 回路を一体化した集積化MEMSには，容量検出回路を集積化した容量型センサ，また多数アレイ化したMEMSの配線線を減らすためのものが主に用いられている．今後必要となる無線関係で寄生インダクタンスなどを減らすための集積化MEMSが期待されている．圧力，加速度，力などの機械量センサ，また能動カテーテルを動かすアクチュエータの制御や超音波イメージャのトランスジューサの駆動のようなバイオメディカル用途，さらに今後のマルチバンド用MEMSフィルタを搭載した無線チップなどの集積化MEMSを紹介する． |
| （英） | Integrated MEMS have been effectively applied for capacitive sensors by integrating capacitance detection circuits and for arrayed MEMS to reduce the lead wires. Integrated MEMS are expected for RF to reduce stray inductance. Mechanical sensors for pressure, acceleration and force, biomedical devices as active catheter and ultrasound transducers and wireless chips which have multiple band MEMS filters are described as examples of the integrated MEMS. | |
| キーワード | （和） | 集積化MEMS / バイオメディカルMEMS / 集積化容量型圧力センサ / マルチバンド無線チップ / / / / |
| （英） | Integrated MEMS / Biomedical MEMS / Integrated Capacitive Pressure Sensor / Multi-band Wireless Chip / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 214, ICD2009-44, pp. 57-62, 2009年10月. | |
| 資料番号 | ICD2009-44 | |
| 発行日 | 2009-09-24 (ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ICD2009-44 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD ITE-IST |
| 開催期間 | 2009-10-01 - 2009-10-02 |
| 開催地（和） | キャンパス・イノベーションセンター東京（田町） |
| 開催地（英） | CIC Tokyo (Tamachi) |
| テーマ（和） | アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路 |
| テーマ（英） | Analog, Mixed analog and digital, RF, and sensor interface circuitry |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2009-10-ICD-IST |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 集積化MEMSとバイオメディカルMEMS |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Integrated MEMS and Biomedical MEMS |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 集積化MEMS / Integrated MEMS |
| キーワード(2)（和/英） | バイオメディカルMEMS / Biomedical MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | 集積化容量型圧力センサ / Integrated Capacitive Pressure Sensor |
| キーワード(4)（和/英） | マルチバンド無線チップ / Multi-band Wireless Chip |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 江刺 正喜 / Masayoshi Esashi / エサシ マサヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-10-01 15:20:00 |
| 発表時間 | 50分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | ICD2009-44 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.214 |
| ページ範囲 | pp.57-62 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-09-24 (ICD) |
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