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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-10-15 13:55 静電レンズ一体型FEAの試作と評価 ○田上智也・小池昭文・高木康男（静岡大）・長尾昌善・吉田知也・金丸正剛（産総研）・根尾陽一郎・青木 徹・三村秀典（静岡大）  ED2009-117 |
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| 抄録 | （和） | 我々はフィールドエミッタアレイ(FEA)を用いたマイクロサイズの電子線顕微鏡の実現を目指している．この実現の為にはFEAから放射される電子ビームを収束させ高精細なビーム径を実現するマイクロ電子光学系必要不可欠となる．この目的のため我々はこれまでに静電レンズ一体型の5段ゲートFEAの開発に成功している．開発された5段ゲートによりアノードの電流量を維持したまま収束動作を行う事が可能であることを確認した．本報告において，新たにEB露光，ナイフエッジ法を用いて測定を行ったところ，明確なクロスオーバー形成の確認に成功したので報告する． |
| （英） | We have proposed the new applications by using a fine focusing crossover electron beam from FEA such as electron beam microscope. In order to form a fine focusing crossover electron beam, we have fabricated 5 gated FEA. It was demonstrated that emission current could be kept constantly under focusing operation. In this report， we talk about a clear crossover formation was successfully observed by Electron beam lithography and Knife edge method. | |
| キーワード | （和） | 5段ゲートFEA / EB露光 / ナイフエッジ法 / 電子線顕微鏡 / / / / |
| （英） | 5 gated FEA / Electron beam lithography / Knife edge / Electron beam microscope / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 230, ED2009-117, pp. 7-10, 2009年10月. | |
| 資料番号 | ED2009-117 | |
| 発行日 | 2009-10-08 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-117 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2009-10-15 - 2009-10-16 |
| 開催地（和） | 福井大学 産学官連携本部（旧地域共同研究センター） ３階 研修室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2009-10-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 静電レンズ一体型FEAの試作と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and measurement of FEA with a built-in electrostatic lens |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 5段ゲートFEA / 5 gated FEA |
| キーワード(2)（和/英） | EB露光 / Electron beam lithography |
| キーワード(3)（和/英） | ナイフエッジ法 / Knife edge |
| キーワード(4)（和/英） | 電子線顕微鏡 / Electron beam microscope |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田上 智也 / Tomoya Tagami / タガミ トモヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小池 昭文 / Akifumi Koike / コイケ アキフミ |
| 第2著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高木 康男 / Yasuo Takagi / タカギ ヤスオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長尾 昌善 / Masayoshi Nagao / ナガオ マサヨシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉田 知也 / Tomoya Yoshida / ヨシダ トモヤ |
| 第5著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金丸 正剛 / Seigo Kanemaru / カネマル セイゴウ |
| 第6著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 根尾 陽一郎 / Yoichiro Neo / ネオ ヨウイチロウ |
| 第7著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 青木 徹 / Toru Aoki / アオキ トオル |
| 第8著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三村 秀典 / Hidenori Mimura / ミムラ ヒデノリ |
| 第9著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-10-15 13:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2009-117 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.230 |
| ページ範囲 | pp.7-10 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-10-08 (ED) |
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