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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-10-29 17:15 大規模アレイTEGを用いた長時間測定によるランダム・テレグラフ・シグナルの統計的評価 ○藤澤孝文・阿部健一・渡部俊一・宮本直人・寺本章伸・須川成利・大見忠弘（東北大）  SDM2009-123 |
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| 抄録 | （和） | MOSFETの微細化，低ノイズデバイス作製のために，RTSノイズを抑制することが必要である．本報告では短時間で多数個のRTS特性が評価できる大規模アレイテスト回路を用いてRTS特性のゲートバイアス依存性を測定した．ゲートバイアスの減少に伴い，振幅は増大し，捕獲・放出時定数比は大きくなった．時定数比のゲートバイアス依存性から，絶縁膜中のトラップの分布について議論し，時定数比の抽出がトラップのエネルギー準位抽出に有用であることを示した． |
| （英） | For the development of miniaturizing MOSFET and manufacturing low noise devices, it is important to suppress RTS noise. In this report, we measured the gate bias voltage dependence of RTS characteristic with large-scale array test pattern that we are able to evaluate a large number of RTS characteristic in a short time. The amplitude increases and the time constant ratio increases as gate bias voltage decreases. We discuss the energy level of traps in an insulator film with the gate bias voltage dependence of time constant ratio. Extraction time constant ratio is useful for determination of the energy level of traps. | |
| キーワード | （和） | MOSFET / ばらつき / ランダム・テレグラフ・シグナル(RTS) / 時定数 / トラップ / / / |
| （英） | MOSFET / variability / Random Telegraph Signal(RTS) / time constant / trap / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 257, SDM2009-123, pp. 31-36, 2009年10月. | |
| 資料番号 | SDM2009-123 | |
| 発行日 | 2009-10-22 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2009-123 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2009-10-29 - 2009-10-30 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku University |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Semiconductor process science and new technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2009-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 大規模アレイTEGを用いた長時間測定によるランダム・テレグラフ・シグナルの統計的評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Statistical Analysis of Random Telegraph Signal Using a Large-Scale Array TEG with a Long Time Measurement |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | MOSFET / MOSFET |
| キーワード(2)（和/英） | ばらつき / variability |
| キーワード(3)（和/英） | ランダム・テレグラフ・シグナル(RTS) / Random Telegraph Signal(RTS) |
| キーワード(4)（和/英） | 時定数 / time constant |
| キーワード(5)（和/英） | トラップ / trap |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤澤 孝文 / Takafumi Fujisawa / フジサワ タカフミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阿部 健一 / Kenichi Abe / アベ ケンイチ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡部 俊一 / Syunichi Watabe / ワタベ シュンイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮本 直人 / Naoto Miyamoto / ミヤモト ナオト |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-10-29 17:15:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2009-123 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.257 |
| ページ範囲 | pp.31-36 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-10-22 (SDM) |
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