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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-11-19 15:20 GaInNの加圧MOVPEにおける熱力学解析 ○永田賢昌・飯田大輔・永松謙太郎・竹田健一郎・松原哲也・岩谷素顕・上山 智・天野 浩・赤崎 勇（名城大）  ED2009-140 CPM2009-114 LQE2009-119 |
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| 抄録 | （和） | 高In 組成GaInN は高効率多接合型太陽電池，高出力ヘテロ構造電界効果トランジスタや高効率緑色LED・LD への応用が期待されている。従来のMOVPE法では高In 組成GaInN は低温成長が必須であったが，結晶性の悪さや残留不純物濃度が増加しやすいことから，高温での成長が望まれている。GaInNにおいて加圧成長することで，より高温で成長可能になる。本報告では，加圧MOVPE法を用いたGaInNの結晶成長およびその熱力学解析について報告する。 |
| （英） | High In content GaInN films are promising for many applications such as multi-junction tandem photovoltaic cells, high power heterostructured field-effect transistors, high-brightness green light-emitting diodes, etc. Up to now, growth temperature for high In composition GaInN films should be lower than that of GaN. It is desirable to grow GaInN at higher temperature to achieve high quality and low residual impurities. It is possible to grow GaInN at higher temperature under higher pressure. This paper reports GaInN growth at raised pressure by MOVPE and these thermodynamic aspects. | |
| キーワード | （和） | GaInN / MOVPE / 加圧 / 熱力学 / In組成 / 圧力 / / |
| （英） | GaInN / MOVPE / raised pressure / pressurize / thermodynamic / In composition / pressure / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 289, CPM2009-114, pp. 57-60, 2009年11月. | |
| 資料番号 | CPM2009-114 | |
| 発行日 | 2009-11-12 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-140 CPM2009-114 LQE2009-119 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED LQE CPM |
| 開催期間 | 2009-11-19 - 2009-11-20 |
| 開催地（和） | 徳島大学（常三島キャンパス・工業会館） |
| 開催地（英） | Univ. of Tokushima (Josanjima Campus, Kogyo-Kaikan) |
| テーマ（和） | 窒化物及び混晶半導体デバイス |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2009-11-ED-LQE-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | GaInNの加圧MOVPEにおける熱力学解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Thermodynamical aspects for the raised pressure MOVPE for growth of GaInN |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaInN / GaInN |
| キーワード(2)（和/英） | MOVPE / MOVPE |
| キーワード(3)（和/英） | 加圧 / raised pressure |
| キーワード(4)（和/英） | 熱力学 / pressurize |
| キーワード(5)（和/英） | In組成 / thermodynamic |
| キーワード(6)（和/英） | 圧力 / In composition |
| キーワード(7)（和/英） | / pressure |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永田 賢昌 / Kensuke Nagata / ナガタ ケンスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 飯田 大輔 / Daisuke Iida / イイダ ダイスケ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永松 謙太郎 / Kentaro Nagamatsu / ナガマツ ケンタロウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹田 健一郎 / Kenichiro Takeda / タケダ ケンイチロウ |
| 第4著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松原 哲也 / Tetsuya Matsubara / マツバラ テツヤ |
| 第5著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩谷 素顕 / Motoaki Iwaya / イワヤ モトアキ |
| 第6著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上山 智 / Satoshi Kamiyama / カミヤマ サトシ |
| 第7著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 天野 浩 / Hiroshi Amano / アマノ ヒロシ |
| 第8著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 赤崎 勇 / Isamu Akasaki / アカサキ イサム |
| 第9著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-11-19 15:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | ED2009-140, CPM2009-114, LQE2009-119 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.288(ED), no.289(CPM), no.290(LQE) |
| ページ範囲 | pp.57-60 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-11-12 (ED, CPM, LQE) |
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