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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-11-19 11:40 AlNエピタキシャル薄膜における励起子発光機構 ○尾沼猛儀・羽豆耕治（東北大）・宗田孝之（早大）・上殿明良（筑波大）・秩父重英（東北大）  ED2009-134 CPM2009-108 LQE2009-113 |
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| 抄録 | （和） | 有機金属化学気相エピタキシー法により$c$面サファイア基板上に成長された、転位密度の異なるAlN薄膜の励起子エネルギー領域における光学特性を報告する。転位密度の低減に伴って、Al空孔に関連した点欠陥複合体密度の低減と、面内圧縮歪（$\Delta$$a/a$）の増加が観測された。最も転位密度の低い試料（2$\times$10$^{8}$~cm$^{-2}$）は$\Delta$$a/a$$\approx$$-$1.68\%と大きな歪を受けており、低温のカソードルミネセンス（CL）スペクトルには4本の束縛励起子発光ピークが観測された。部分偏光反射およびCL測定から、基底および第一励起状態にあるA自由励起子の発光が同定され、水素原子様モデルを適用すると励起子束縛エネルギーは51meVと見積もられた。 |
| （英） | Exciton fine structures were observed in partially polarized optical reflectance and cathodoluminescence (CL) spectra of AlN epilayers grown by low-pressure metalorganic vapor phase epitaxy on (0001) Al$_2$O$_3$ substrates. A few free and four bound exciton lines were clearly resolved in the low-temperature CL spectra of the lowest threading dislocation density (2$\times$10$^{8}$~cm$^{-2}$) AlN film. From the energy difference between the ground- and the first-excited states, the hydrogenic A-exciton binding energy in the compressively strained ($\Delta$$a/a$$\approx$$-$1.68\%) AlN was estimated to be 51 meV. | |
| キーワード | （和） | AlN / 偏光 / 反射 / カソードルミネセンス / / / / |
| （英） | AlN / Polarization / Reflectance / Cathodoluminescence / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 290, LQE2009-113, pp. 31-34, 2009年11月. | |
| 資料番号 | LQE2009-113 | |
| 発行日 | 2009-11-12 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-134 CPM2009-108 LQE2009-113 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED LQE CPM |
| 開催期間 | 2009-11-19 - 2009-11-20 |
| 開催地（和） | 徳島大学（常三島キャンパス・工業会館） |
| 開催地（英） | Univ. of Tokushima (Josanjima Campus, Kogyo-Kaikan) |
| テーマ（和） | 窒化物及び混晶半導体デバイス |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2009-11-ED-LQE-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | AlNエピタキシャル薄膜における励起子発光機構 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Exciton emission mechanism in AlN epitaxial films |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | AlN / AlN |
| キーワード(2)（和/英） | 偏光 / Polarization |
| キーワード(3)（和/英） | 反射 / Reflectance |
| キーワード(4)（和/英） | カソードルミネセンス / Cathodoluminescence |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 尾沼 猛儀 / Takeyoshi Onuma / オヌマ タケヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 羽豆 耕治 / Kouji Hazu / ハズ コウジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宗田 孝之 / Takayuki Sota / ソウタ タカユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上殿 明良 / Akira Uedono / ウエドノ アキラ |
| 第4著者 所属（和/英） | 筑波大学 (略称： 筑波大) University of Tsukuba (略称： Univ. of Tsukuba) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 秩父 重英 / Shigefusa F. Chichibu / チチブ シゲフサ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-11-19 11:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | ED2009-134, CPM2009-108, LQE2009-113 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.288(ED), no.289(CPM), no.290(LQE) |
| ページ範囲 | pp.31-34 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-11-12 (ED, CPM, LQE) |
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