講演抄録/キーワード |
講演名 |
2009-12-04 11:20
Poly-Si TFTにおけるゲート酸化膜へのホットホール注入と捕獲/放出特性の評価 ○鎌倉良成(阪大)・日昔 崇(阪大/関西大)・辻 博史・谷口研二(阪大) SDM2009-157 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2009-157 |
抄録 |
(和) |
nチャネル低温ポリシリコンTFTのオフ領域で観測されたId-Vg特性のヒステリシス現象について、その発生条件を調査するとともにメカニズム解明を試みた。ドレインに大きな正電圧(+8V)を与え、ゲート電圧を負から正の範囲(-15~+15V) で繰り返し往復スイープさせたところ、ゲート電圧が負のオフ領域においてドレイン電流にスイープ方向依存性が確認された。この現象は、GIDLにより発生したホールの酸化膜注入(オフ領域)、および自己発熱効果による素子温度上昇に伴うホールの熱放出(オン領域)、というメカニズムを考えることで理解できる。さらに、バイアス条件を様々に振った測定結果から素子の自己発熱特性やゲート酸化膜欠陥に関する情報が得られることを報告する。 |
(英) |
The hysteresis observed in the transfer characteristics of n-channel poly-Si TFTs are experimentally investigated and possible mechanisms are discussed. The hot holes generated by GIDL mechanism are injected into the gate oxide, and resulting trapped positive charges significantly reduce the off-state drain leakage current. These trapped holes can be erased by the on-current conduction through the thermal emission process, which is enhanced by the self-heating effect. The information about the self-heating characteristics and oxide defects can be obtained by measuring the hole emission characteristics under various bias conditions. |
キーワード |
(和) |
poly-Si TFT / ヒステリシス / 酸化膜ホールトラップ / 自己発熱効果 / / / / |
(英) |
poly-Si TFT / hysteresis / oxide hole trap / self-heating effect / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 109, no. 321, SDM2009-157, pp. 35-38, 2009年12月. |
資料番号 |
SDM2009-157 |
発行日 |
2009-11-27 (SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
SDM2009-157 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2009-157 |