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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-04-23 10:10 ［招待講演］生体超分子を用いた高機能化ナノシステム ～ シリコン薄膜の低温結晶化 ～ ○浦岡行治・山下一郎（奈良先端大）  SDM2010-1 OME2010-1 |
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| 抄録 | （和） | 自己組織化機能を持つ生体超分子は、高機能化ナノシステムを実現する上で、有用な材料である。我々は、この材料を活用して、フローティングゲートメモリ、単電子素子などを実証してきた。今回は、タンパクのニッケルコアを用いて、シリコン薄膜の低温結晶化を検討した。その結果、粒径が大きく、不純物密度の低いシリコン薄膜の形成を確認した。 |
| （英） | Bio Nano materials with self assembling ability are very useful for fabricating high performance devices. So far we have succeeded in fabricating floating gate memory or single electron transistors. In this study, we tried to crystallize silicon thin film utilizing Ni nano particles incorporated in feritin protein. We obtained high quality film with large grain and low impurity. | |
| キーワード | （和） | 生体超分子 / 自己組織化 / シリコン薄膜 / 低温結晶化 / / / / |
| （英） | Bio nano process / Self assebling / Silicon thin film / Low temperature crystallization / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 15, SDM2010-1, pp. 1-4, 2010年4月. | |
| 資料番号 | SDM2010-1 | |
| 発行日 | 2010-04-16 (SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2010-1 OME2010-1 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM OME |
| 開催期間 | 2010-04-23 - 2010-04-23 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawa-Ken-Seinen-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Advanced Thin-Film Devices (Si, Compound, Organic) and Related Topics |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2010-04-SDM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 生体超分子を用いた高機能化ナノシステム |
| サブタイトル（和） | シリコン薄膜の低温結晶化 |
| タイトル（英） | High Performance Nano System Fabricated by Bio Nano Molecule |
| サブタイトル（英） | Low Temperature Crystallization of Silicon Thin Film |
| キーワード(1)（和/英） | 生体超分子 / Bio nano process |
| キーワード(2)（和/英） | 自己組織化 / Self assebling |
| キーワード(3)（和/英） | シリコン薄膜 / Silicon thin film |
| キーワード(4)（和/英） | 低温結晶化 / Low temperature crystallization |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浦岡 行治 / Yukiharu Uraoka / ウラオカ ユキハル |
| 第1著者 所属（和/英） | 奈良先端科学技術大学院大学 (略称： 奈良先端大) Nara Institute of Science and Technology (略称： NAIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山下 一郎 / Ichiro Yamashita / ヤマシタ イチロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 奈良先端科学技術大学院大学 (略称： 奈良先端大) Nara Institute (略称： NAIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-04-23 10:10:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2010-1, OME2010-1 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.15(SDM), no.16(OME) |
| ページ範囲 | pp.1-4 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2010-04-16 (SDM, OME) |
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