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講演抄録/キーワード
講演名 2010-07-29 14:20
室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討
清水英彦樫出 淳岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大)・星 陽一東京工芸大CPM2010-32
抄録 (和) (まだ登録されていません) 
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文献情報 信学技報, vol. 110, no. 154, CPM2010-32, pp. 5-9, 2010年7月.
資料番号 CPM2010-32 
発行日 2010-07-22 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2010-32

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2010-07-29 - 2010-07-30 
開催地(和) 道の駅しゃり 会議室 
開催地(英) Michino-Eki Shari Meeting Room 
テーマ(和) 電子部品・材料,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2010-07-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Characteristic of AZO thin films deposited at room temperature by sputtering method 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu / シミズ ヒデヒコ
第1著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 樫出 淳 / Jun Kashiide / カシイデ ジュン
第2著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 岩野 春男 / Haruo Iwano / イワノ ハルオ
第3著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 川上 貴浩 / Takahiro Kawakami / カワカミ タカヒロ
第4著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 福嶋 康夫 / Yasuo Fukushima / フクシマ ヤスオ
第5著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 永田 向太郎 / Kotaro Nagata / ナガタ コウタロウ
第6著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 星 陽一 / Yoichi Hoshi / ホシ ヨウイチ
第7著者 所属(和/英) 東京工芸大学 (略称: 東京工芸大)
Tokyo Polytechnic University (略称: Tokyo Polytechnic Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2010-07-29 14:20:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2010-32 
巻番号(vol) vol.110 
号番号(no) no.154 
ページ範囲 pp.5-9 
ページ数
発行日 2010-07-22 (CPM) 


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