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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-08-27 09:25 波長選択スイッチにおける電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製 ○阪田知巳・碓氷光男・内山真吾・下山展弘・松浦 徹（NTT）・石井 仁（NTT/豊橋技科大）・下川房男（NTT/香川大）・佐藤康博（NTT）  EMD2010-44 CPM2010-60 OPE2010-69 LQE2010-42 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2010-44 CPM2010-60 OPE2010-69 LQE2010-42 |
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| 抄録 | （和） | 本稿は波長選択スイッチ(WSS)における電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製に関する報告である．ミラーチップに関しては，ミラーを有機樹脂膜で被覆することによって，100%歩留まりで作製することを実現している．電極チップに関しては，厚膜多層配線技術を用いることによって，狭小空間に高アスペクト比の電気干渉壁を形成している．また，シールドキャップに関しては，Si(111)面の異方性エッチングによりSiのV溝を形成している．電極チップの電気干渉壁とシールドキャップの電界分離効果によって，各ミラーは電気干渉を受けることなく動作することを確認している． |
| （英） | This paper describes the fabrication of a MEMS mirror array with low electrical interference in a wavelength-selective switch (WSS). A MEMS mirror array chip is fabricated with 100% yield by encapsulating the mirrors with an organic film that protect them from process damage. A mirror-drive electrode chip has high-aspect-ratio electrical isolation walls in the narrow space between adjacent mirror-drive electrodes by using thick-multilevel interconnection technology. Shield caps are made by anisotropic etching of Si (111). Because of the electrical isolation effect of the walls and caps, each MEMS mirror operates with low electrical interference. | |
| キーワード | （和） | 波長選択スイッチ / WSS / MEMS / 電気干渉 / / / / |
| （英） | Wavelength-selective Switch / WSS / MEMS / Electrical Interference / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 179, CPM2010-60, pp. 85-88, 2010年8月. | |
| 資料番号 | CPM2010-60 | |
| 発行日 | 2010-08-19 (EMD, CPM, OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2010-44 CPM2010-60 OPE2010-69 LQE2010-42 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2010-44 CPM2010-60 OPE2010-69 LQE2010-42 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD OPE LQE CPM |
| 開催期間 | 2010-08-26 - 2010-08-27 |
| 開催地（和） | 千歳アルカディアプラザ |
| 開催地（英） | Chitose Arcadia Plaza |
| テーマ（和） | 光部品・電子デバイス実装技術、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2010-08-EMD-OPE-LQE-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 波長選択スイッチにおける電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Low-Electrical-Interference MEMS Mirror Array for Wavelength-selective Switches |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 波長選択スイッチ / Wavelength-selective Switch |
| キーワード(2)（和/英） | WSS / WSS |
| キーワード(3)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(4)（和/英） | 電気干渉 / Electrical Interference |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阪田 知巳 / Tomomi Sakata / サカタ トモミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) NTT Corporation. (略称： NTT Corp.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 碓氷 光男 / Mitsuo Usui / ウスイ ミツオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) NTT Corporation. (略称： NTT Corp.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内山 真吾 / Shingo Uchiyama / ウチヤマ シンゴ |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) NTT Corporation. (略称： NTT Corp.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下山 展弘 / Nobuhiro Shimoyama / シモヤマ ノブヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) NTT Corporation. (略称： NTT Corp.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松浦 徹 / Tohru Matsuura / マツウラ トオル |
| 第5著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) NTT Corporation. (略称： NTT Corp.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石井 仁 / Hiromu Ishii / イシイ ヒロム |
| 第6著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社/豊橋技術科学大学 (略称： NTT/豊橋技科大) NTT Corporation./Toohashi University of Technology (略称： NTT Corp./Toohashi Univ. of Tech.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下川 房男 / Fusao Shimokawa / シモカワ フサオ |
| 第7著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社/香川大学 (略称： NTT/香川大) NTT Corporation/Kagawa University (略称： NTT Corp/Kagawa Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 康博 / Yasuhiro Sato / サトウ ヤスヒロ |
| 第8著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) NTT Corporation. (略称： NTT Corp.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-08-27 09:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | EMD2010-44, CPM2010-60, OPE2010-69, LQE2010-42 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.178(EMD), no.179(CPM), no.180(OPE), no.181(LQE) |
| ページ範囲 | pp.85-88 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2010-08-19 (EMD, CPM, OPE, LQE) |
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