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講演抄録/キーワード
講演名 2010-09-29 16:15
軸外スピンコート法で成膜した感応膜を用いる球状弾性表面波センサによる極性化合物の測定
辻 俊宏東北大/JST)・小峯和也東北大)・永井弘樹坂本俊裕岩谷隆光東北大/JST)・赤尾慎吾凸版印刷/東北大/JST)・柳沢恭行大木恒郎中曽教尊凸版印刷/JST)・山中一司東北大/JSTUS2010-55
抄録 (和) 軸外スピンコート法により有機感応膜を成膜した球状弾性表面波センサ(ボールSAWセンサ)を用いて、室温でppbオーダーの揮発性有機化合物を非破壊的に分析可能なガスクロマトグラフ(GC)の検出器の実現を試みた.その結果、卓上型GCの熱伝導度検出器により検出できないような低濃度の化学兵器模擬物質(メチルホスホン酸ジメチル)であっても、界面活性剤を成膜したボールSAWセンサは室温において十分なS/N比で測定することができた.そこでS/N=2における検出限界を求めると10ppbだった.従って,ボールSAWセンサは卓上型GCの検出器としてだけでなく,可搬型GCの検出器としても有用であることが実証された. 
(英) We aimed to realize the detector of a gas chromatograph (GC) that can nondestructively analyze volatile organic compounds of ppb order at room temperature by ball surface acoustic wave (SAW) sensor with organic sensitive film fabricated by off-axis spin coating method. The ball SAW sensor with surface-active agent film detected a nerve gas simulant substance (dimethylmethylphosphonate) of low concentration with sufficient S/N ratio at room temperature, in spite of a thermal conductivity detector of a desktop GC hardly detectable. Then, the detection limit at S/N=2 was 10 ppb. Therefore, it was proved that the ball SAW sensor is useful for the detector not only the desktop GC but also a potable GC.
キーワード (和) 弾性表面波(SAW) / ボールSAWセンサ / 有機感応膜 / 軸外スピンコート / ガスクロマトグラフ / / /  
(英) surface acoustic wave (SAW) / ball SAW sensor / organic sensitive film / off-axis spin coating / gas chromatograph / / /  
文献情報 信学技報, vol. 110, no. 213, US2010-55, pp. 39-44, 2010年9月.
資料番号 US2010-55 
発行日 2010-09-22 (US) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード US2010-55

研究会情報
研究会 US  
開催期間 2010-09-29 - 2010-09-30 
開催地(和) 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 
開催地(英) Tohoku Univ. 
テーマ(和) 一般 
テーマ(英) General 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 US 
会議コード 2010-09-US 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 軸外スピンコート法で成膜した感応膜を用いる球状弾性表面波センサによる極性化合物の測定 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Measurement of polar compounds by the ball SAW sensor with sensitive film fabricated by the off-axis spin coating method 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 弾性表面波(SAW) / surface acoustic wave (SAW)  
キーワード(2)(和/英) ボールSAWセンサ / ball SAW sensor  
キーワード(3)(和/英) 有機感応膜 / organic sensitive film  
キーワード(4)(和/英) 軸外スピンコート / off-axis spin coating  
キーワード(5)(和/英) ガスクロマトグラフ / gas chromatograph  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 辻 俊宏 / Toshihiro Tsuji / ツジ トシヒロ
第1著者 所属(和/英) 東北大学/JST-CREST (略称: 東北大/JST)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ., JST, CREST)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 小峯 和也 / Kazuya Komine / コミネ カズヤ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 永井 弘樹 / Hiroki Nagai / ナガイ ヒロキ
第3著者 所属(和/英) 東北大学/JST-CREST (略称: 東北大/JST)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ./JST-CREST)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 坂本 俊裕 / Toshihiro Sakamoto / サカモト トシヒロ
第4著者 所属(和/英) 東北大学/JST-CREST (略称: 東北大/JST)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ./JST-CREST)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 岩谷 隆光 / Takamitsu Iwaya / イワヤ タカミツ
第5著者 所属(和/英) 東北大学/JST-CREST (略称: 東北大/JST)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ./JST-CREST)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 赤尾 慎吾 / Shingo Akao / アカオ シンゴ
第6著者 所属(和/英) 凸版印刷株式会社/東北大学, JST-CREST (略称: 凸版印刷/東北大/JST)
Toppan Printing Co., Ltd., Tohoku University, JST,CREST (略称: Toppan Printing Co., Ltd./Tohoku Univ./JST-CREST)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 柳沢 恭行 / Takayuki Yanagisawa / ヤナギサワ タカユキ
第7著者 所属(和/英) 凸版印刷株式会社/JST-CREST (略称: 凸版印刷/JST)
Toppan Printing Co., Ltd., JST,CREST (略称: Toppan Printing Co., Ltd./JST-CREST)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 大木 恒郎 / Tsuneo Ohgi / オオギ ツネオ
第8著者 所属(和/英) 凸版印刷株式会社/JST-CREST (略称: 凸版印刷/JST)
Toppan Printing Co., Ltd., JST,CREST (略称: Toppan Printing Co., Ltd./JST-CREST)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 中曽 教尊 / Noritaka Nakaso / ナカソ ノリタカ
第9著者 所属(和/英) 凸版印刷株式会社/JST-CREST (略称: 凸版印刷/JST)
Toppan Printing Co., Ltd., JST,CREST (略称: Toppan Printing Co., Ltd./JST-CREST)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 山中 一司 / Kazushi Yamanaka / ヤマナカ カズシ
第10著者 所属(和/英) 東北大学/JST-CREST (略称: 東北大/JST)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ./JST-CREST)
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講演者 第1著者 
発表日時 2010-09-29 16:15:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 US 
資料番号 US2010-55 
巻番号(vol) vol.110 
号番号(no) no.213 
ページ範囲 pp.39-44 
ページ数
発行日 2010-09-22 (US) 


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