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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-10-22 15:20 自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン酸化膜形成の反応解析への応用 ○坪井秀行・稲葉賢二・伊勢真理子・林 由紀江・鈴木裕佳・佐藤裕美・小原幸子・南雲 亮・三浦隆治・鈴木 愛・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・宮本 明（東北大）  SDM2010-168 |
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| 抄録 | （和） | 外部の量子化学計算プログラムを呼び出してエネルギー計算を行い得られた原子間エネルギーを元に分子動力学用ポテンシャルパラメータをフィッティングする機能を既存の分子動力学計算プログラムに導入することで，化学反応を考慮した分子動力学シミュレーションの実現に成功した．この新開発プログラムを用いることによりシリコン表面の酸化反応プロセスのダイナミクスを解析することが可能となった． |
| （英） | The automated system of ultra-accelerated quantum chemical molecular dynamics method (UA-QCMD) has been developed. The new UA-QCMD simulator consisted of continuous combination of the following two parts. The first part consists of our original tight-binding quantum chemical simulator “Colors” and the second part is also our classical molecular dynamics simulator “NEW- RYUDO”. We have investigated the initial oxidation process for silicon/insulator interface. | |
| キーワード | （和） | シリコン / / / / / / / |
| （英） | Ultra accelerated quantum chemical molecular dynamics method / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 241, SDM2010-168, pp. 67-68, 2010年10月. | |
| 資料番号 | SDM2010-168 | |
| 発行日 | 2010-10-14 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2010-168 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2010-10-21 - 2010-10-22 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku University |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Semiconductor process science and new technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2010-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン酸化膜形成の反応解析への応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Automated System of Ultra-Accelerated Quantum Chemical Molecular Dynamics Method and Its Application to Silicon/Insulator Interface Formation Technologies |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコン / Ultra accelerated quantum chemical molecular dynamics method |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坪井 秀行 / Hideyuki Tsuboi / ツボイ ヒデユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 稲葉 賢二 / Kenji Inaba / イナバ ケンジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 伊勢 真理子 / Mariko Ise / イセ マリコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 林 由紀江 / Yukie Hayashi / ハヤシ ユキエ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 裕佳 / Yuka Suzuki / スズキ ユカ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 裕美 / Hiromi Sato / サトウ ヒロミ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小原 幸子 / Yukiko Obara / オバラ ユキコ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 南雲 亮 / Ryo Nagumo / ナグモ リョウ |
| 第8著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 隆治 / Ryuji Miura / ミウラ リュウジ |
| 第9著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 愛 / Ai Suzuki / スズキ アイ |
| 第10著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 畠山 望 / Nozomu Hatakeyama / ハタケヤマ ノゾム |
| 第11著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | 遠藤 明 / Akira Endou / エンドウ アキラ |
| 第12著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高羽 洋充 / Hiromitsu Takaba / タカバ ヒロミツ |
| 第13著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久保 百司 / Momoji Kubo / |
| 第14著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮本 明 / Akira Miyamoto / ミヤモト アキラ |
| 第15著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-10-22 15:20:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2010-168 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.241 |
| ページ範囲 | pp.67-68 |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2010-10-14 (SDM) |
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