| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-10-22 13:25 イオンアシスト蒸着によるフッ素系高分子薄膜の作製 ○松田 剛（東京農工大）・泉田和夫（住友精密工業）・田中邦明・臼井博明（東京農工大）  OME2010-47 エレソ技報アーカイブへのリンク：OME2010-47 |
|
| 抄録 | （和） | フッ素系高分子薄膜の新規な形成技術としてイオンアシスト蒸着法を試みた．基板表面に低エネルギーArイオンを照射しつつフッ化アルキルアクリレートモノマーを蒸着した結果，高い撥水性を示すフッ素系高分子薄膜が得られた．これに対しイオン照射なしの蒸着では，薄膜を堆積することはできなかった．金表面では平坦な薄膜が得られたが，ガラス表面では膜表面に凹凸が観察された．これは未反応モノマーの凝集物と考えられ，HCFC-225溶媒で膜表面を洗浄することで平坦性を向上させることができた．本手法を用いてガラス表面に厚さ100 nmの高分子薄膜を形成した結果，光反射率を8%から3%へ低減できた． |
| （英） | Ion-assisted deposition was employed as a new technique for preparing fuluoropolymer thin films. A fluorinated alkylacrylate monomer was deposited on the substrate surface under irradiation of low energy Ar ions. As a consequence, highly hydrophobic fluoropolymer thin films were obtained. However, no films were accumulated when the monomer was deposited without ion irradiation. The films deposited on Au surface had excellent smoothness. On the other hand, the films deposited on glass substrate had considerable extrusions due probably to coagulation of monomer residue. The roughness was improved by rinsing the film with HCFC-225 solvent. By depositing a 100-nm thick film on glass surface, the reflectance was reduced from 8% to 3%. | |
| キーワード | （和） | イオンアシスト蒸着 / 蒸着重合 / フッ素系高分子 / フッ化アルキルアクリレート / 反射防止膜 / / / |
| （英） | ion-assisted deposition / deposition polymerization / fluoropolymer / fluorinated alkylacrylate / antireflective coating / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 243, OME2010-47, pp. 5-10, 2010年10月. | |
| 資料番号 | OME2010-47 | |
| 発行日 | 2010-10-15 (OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2010-47 エレソ技報アーカイブへのリンク：OME2010-47 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
| 開催期間 | 2010-10-22 - 2010-10-22 |
| 開催地（和） | NTT武蔵野研究開発センター |
| 開催地（英） | NTT Musashino R&D Center |
| テーマ（和） | 有機デバイス全般・一般 |
| テーマ（英） | Organic Devices, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2010-10-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | イオンアシスト蒸着によるフッ素系高分子薄膜の作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Deposition polymerization of fluoropolymer thin films by ion-assisted vapor deposition |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | イオンアシスト蒸着 / ion-assisted deposition |
| キーワード(2)（和/英） | 蒸着重合 / deposition polymerization |
| キーワード(3)（和/英） | フッ素系高分子 / fluoropolymer |
| キーワード(4)（和/英） | フッ化アルキルアクリレート / fluorinated alkylacrylate |
| キーワード(5)（和/英） | 反射防止膜 / antireflective coating |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松田 剛 / Tsuyoshi Matsuda / マツダ ツヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo Univ. Agricul. & Technol.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 泉田 和夫 / Kazuo Senda / センダ カズオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 住友精密工業 (略称： 住友精密工業) Sumitomo Precision Products Co.,Ltd. (略称： Sumitomo Precision) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田中 邦明 / Kuniaki Tanaka / タナカ クニアキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo Univ. Agricul. & Technol.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 臼井 博明 / Hiroaki Usui / ウスイ ヒロアキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo Univ. Agricul. & Technol.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第5著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第6著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第7著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第8著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第9著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第10著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第11著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第12著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第13著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第14著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第15著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第16著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第17著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-10-22 13:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2010-47 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.243 |
| ページ範囲 | pp.5-10 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2010-10-15 (OME) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]