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| 講演名 | 2010-10-28 17:30 MCR-CVD法によるフッ素フリータングステン成長 ○渡邉雄仁・柴田 明・鹿又健作・鈴木貴彦・廣瀬文彦（山形大）  CPM2010-98 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2010-98 |
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| 抄録 | （和） | LSIプラグ配線用金属であるタングステンは、これまで六フッ化タングステンを原料として水素の還元を利用した化学気相堆積法で形成されてきた。しかし、従来プロセスでは反応副産物としてフッ化水素が生成され、デバイスが腐食する問題が指摘されている。我々は原材料にフッ素を含有しない、金属タングステンと塩素ガスのみを原料とする塩化金属還元化学気相堆積法(Metal-Chloride-Reduction Chemical-Vapor-Deposition :MCR-CVD)でタングステン薄膜の形成を試みた。このプロセスは塩素ガスをプラズマ化し、原料金属に接触させて塩化金属を生成し、それを基板表面に気相輸送し、それを塩素ラジカルによって還元することで、純金属のみを堆積していく方法である。我々は、タングステン薄膜の形成に最適な条件を見いだすべく、塩素流量やRFパワーなどを変化させ実験を行った。塩化金属生成の促進のため、原料であるタングステンに電流を直接通電し温度を上げる工夫を行った。こうして我々はMCR-CVD法を用いることで、脱フッ素プロセスによってタングステン薄膜を形成することができたので報告する。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 脱フッ素プロセス / タングステン / 薄膜 / MCR-CVD / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 261, CPM2010-98, pp. 39-42, 2010年10月. | |
| 資料番号 | CPM2010-98 | |
| 発行日 | 2010-10-21 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2010-98 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2010-98 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2010-10-28 - 2010-10-29 |
| 開催地（和） | 信州大学 工学部 地域共同研究センター３階研修室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 薄膜プロセス・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2010-10-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | MCR-CVD法によるフッ素フリータングステン成長 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fluorine-free tungsten deposition by metal-chloride-reduction chemical vapor deposition |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 脱フッ素プロセス / |
| キーワード(2)（和/英） | タングステン / |
| キーワード(3)（和/英） | 薄膜 / |
| キーワード(4)（和/英） | MCR-CVD / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡邉 雄仁 / Takehito Watanabe / ワタナベ タケヒト |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学院理工 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柴田 明 / Akira Shibata / シバタ アキラ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学院理工 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学院理工 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 貴彦 / Takahiko Suzuki / スズキ タカヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学院理工 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学院理工 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-10-28 17:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2010-98 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.261 |
| ページ範囲 | pp.39-42 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2010-10-21 (CPM) |
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