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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-10-29 11:15 交互積層法によるMg-Cu薄膜の特性の検討 ○清水健児・丹内俊郎・松井博章・清水英彦・岩野春男・川上貴浩（新潟大）  CPM2010-104 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2010-104 |
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| 抄録 | （和） | Mg膜とCu膜を交互に積層する方法により，堆積時の基板温度及びスパッタガス圧を変化させたMg-Cu薄膜を作製し，水素化を行う前の膜の微細構造と光学的特性との関係の検討を行った。その結果，膜堆積時のスパッタ粒子のエネルギーや膜に加える熱エネルギーを低くすることにより，水素化時の透過率が高くなる傾向があった。このことより，水素化時の透過率はMgの結晶のサイズ及びMg2Cu合金に関係し，MgとMg2Cu合金が微結晶で存在する方が，水素化時の透過率は向上すると考えられた。 |
| （英） | In order to examine the relations between the microstructure of the Mg-Cu thin films before hydrogen absorption and switchable mirror effect, Mg-Cu thin films were deposited by the changing the substrate temperature and sputtering gas pressure using alternate layer deposition of Mg film and Cu film by sputtering method. As a result, the transmittance of the films in a dilution hydrogen gas atmosphere tended to increases as the energy of deposition particles and substrate temperature with sputtering process decreases. Therefore, the crystal size of Mg and Mg2Cu in the film depended on the transmittance of the film in a dilution hydrogen gas atmosphere. | |
| キーワード | （和） | Mg-Cu薄膜 / Mg-Ni薄膜 / 交互積層 / 調光ミラー / / / / |
| （英） | Mg-Cu Thin Film / Mg-Ni Thin Film / alternate layer deposition / switchable mirror / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 261, CPM2010-104, pp. 65-69, 2010年10月. | |
| 資料番号 | CPM2010-104 | |
| 発行日 | 2010-10-21 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2010-104 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2010-104 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2010-10-28 - 2010-10-29 |
| 開催地（和） | 信州大学 工学部 地域共同研究センター３階研修室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 薄膜プロセス・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2010-10-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 交互積層法によるMg-Cu薄膜の特性の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Examination of the Mg-Cu Thin Films by Alternate Layer Deposition |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Mg-Cu薄膜 / Mg-Cu Thin Film |
| キーワード(2)（和/英） | Mg-Ni薄膜 / Mg-Ni Thin Film |
| キーワード(3)（和/英） | 交互積層 / alternate layer deposition |
| キーワード(4)（和/英） | 調光ミラー / switchable mirror |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 健児 / Takeru Shimizu / シミズ タケル |
| 第1著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 丹内 俊郎 / Toshiro Tannai / タンナイ トシロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松井 博章 / Hiroaki Matsui / マツイ ヒロアキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu / シミズ ヒデヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩野 春男 / Haruo Iwano / イワノ ハルオ |
| 第5著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 川上 貴浩 / Takahiro Kawakami / カワカミ タカヒロ |
| 第6著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-10-29 11:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2010-104 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.261 |
| ページ範囲 | pp.65-69 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2010-10-21 (CPM) |
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