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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-11-11 13:50 ［招待講演］MOSFETにおけるランダムテレグラフシグナルの統計的評価方法 ○寺本章伸・阿部健一・須川成利・大見忠弘（東北大）  SDM2010-174 |
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| 抄録 | （和） | MOSFETにおけるRandom Telegraph Signal (RTS)の振幅，時定数等，重要なパラメータは一つ一つの特性はばらつきが大きいため，それらのパラメータの特徴を捉えるためには，大規模な標本に基づく統計的評価が不可欠である．そこで，評価手法であるアレイ状のテストパターンの概要を述べ，それを用いてRTSの特徴量を短時間に多数個測定し，それらを誘起するトラップのエネルギ分布を統計的に解析した結果を報告する． |
| （英） | Important parameters of Random Telegraph Signal (RTS) in MOSFET, such as amplitude, time constant vary very much. For evaluating exact characteristics of these parameters, a statistical measurement based on large number of samples is essential. In this paper, we report the summary of the developed test pattern and the statistical results for the energy distribution of oxide traps which are extracted from large numbers of MOSFETs by the test pattern. | |
| キーワード | （和） | MOSFET / RTS / 雑音 / トラップ / 時定数 / テストパターン / / |
| （英） | MOSFET / RTS / Noise / trap / time constant / test pattern / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 274, SDM2010-174, pp. 17-22, 2010年11月. | |
| 資料番号 | SDM2010-174 | |
| 発行日 | 2010-11-04 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2010-174 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2010-11-11 - 2010-11-12 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit Simulations, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2010-11-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | MOSFETにおけるランダムテレグラフシグナルの統計的評価方法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Statistical Evaluation of Random Telegraph Sygnal in MOSFET |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | MOSFET / MOSFET |
| キーワード(2)（和/英） | RTS / RTS |
| キーワード(3)（和/英） | 雑音 / Noise |
| キーワード(4)（和/英） | トラップ / trap |
| キーワード(5)（和/英） | 時定数 / time constant |
| キーワード(6)（和/英） | テストパターン / test pattern |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阿部 健一 / Kenichi Abe / アベ ケンイチ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-11-11 13:50:00 |
| 発表時間 | 50分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2010-174 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.274 |
| ページ範囲 | pp.17-22 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2010-11-04 (SDM) |
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