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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-12-10 10:45 コリメータスパッタリングによる結晶配向制御の基礎検討 ○本多直樹・本多章人（東北工大）  MR2010-51 |
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| 抄録 | （和） | 傾斜異方性磁気記録媒体の作製を目指して，コリメータスパッタリングによる薄膜の結晶配向制御の基礎検討を行った．Co-Cr合金膜やRu膜ではhcp軸の膜面垂直配向について，コリメータによる配向促進効果を確認できた．しかし、斜方堆積では，コリメータ軸を45度まで傾斜させても，配向軸の傾きは2度以下の僅かな値しか得られなかった．斜め配向膜の作製にはスパッタ堆積機構についての詳細な検討が必要である． |
| （英） | Fundamental investigation was performed for crystalline orientation control by collimated sputtering with the purpose of obtaining inclined anisotropy media. Enhancement effect of crystalline orientation by the collimator was observed for perpendicular orientation of hcp c-axis of Co-Cr alloy and Ru films. However, only small inclined angles of less than 2 degrees were obtained with inclined deposition using inclined collimators though the collimator angle was increased as large as 45 degrees. Further detailed study is required to obtain an inclined orientation film. | |
| キーワード | （和） | コリメータスパッタリング / 斜方堆積 / 結晶配向 / 磁気記録媒体 / Co-Cr合金 / / / |
| （英） | Collimated sputtering / Inclined deposition / Crystalline orientation / Magnetic recording media / Co-Cr alloy / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, 2010年12月. | |
| 資料番号 | ||
| 発行日 | 2010-12-02 (MR) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MR2010-51 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ITE-MMS MRIS |
| 開催期間 | 2010-12-09 - 2010-12-10 |
| 開催地（和） | 愛媛大学 総合メディアセンター |
| 開催地（英） | Ehime Univ. |
| テーマ（和） | 信号処理および一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MRIS |
| 会議コード | 2010-12-MMS-MR |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | コリメータスパッタリングによる結晶配向制御の基礎検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fundamental study of crystalline orientation control by collimated sputtering |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | コリメータスパッタリング / Collimated sputtering |
| キーワード(2)（和/英） | 斜方堆積 / Inclined deposition |
| キーワード(3)（和/英） | 結晶配向 / Crystalline orientation |
| キーワード(4)（和/英） | 磁気記録媒体 / Magnetic recording media |
| キーワード(5)（和/英） | Co-Cr合金 / Co-Cr alloy |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本多 直樹 / Naoki Honda / ホンダ ナオキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北工業大学 (略称： 東北工大) Tohoku Institute of Technology (略称： Tohoku Inst. Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本多 章人 / Akito Honda / ホンダ アキト |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北工業大学 (略称： 東北工大) Tohoku Institute of Technology (略称： Tohoku Inst. Tech.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-12-10 10:45:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | MRIS |
| 資料番号 | MR2010-51 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.329 |
| ページ範囲 | pp.65-72 |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | 2010-12-02 (MR) |
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