| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2010-12-17 15:00
1.3ミクロン帯半導体レーザ基板用大型InGaAs単結晶の製造 ○木下恭一・依田眞一(JAXA)・青木拓克・山本 智・細川忠利・松島正明(フルウチ化学)・荒井昌和(NTT東日本)・川口悦弘(NEL)・狩野文良(NTT)・近藤康洋(NEL) LQE2010-123 |
| 抄録 |
(和) |
半導体レーザの基板として均一組成の板状InxGa1-xAs (x: 0.10 – 0.13) 単結晶育成に世界で初めて成功した.用いた方法はTraveling liquidus-zone (TLZ) 法という新しく開発した方法である.TLZ法で高品質結晶を製造するための キーポイントは融液内の対流を抑制することと,一定な温度勾配を保つことであった.大型化を進めた結果,50×50mm2以上の単結晶領域を有する基板製造に成功した.InGaAs基板上1.3m帯レーザは高い出力安定性を示すとともに優れた伝送特性を示し,三元基板使用の利点を示した. |
| (英) |
We have succeeded in growing homogeneous InxGa1-xAs (x: 0.10 – 0.13) platy single crystals by the traveling liquidus-zone (TLZ) method as substrates of laser diodes for the first time. Key points in the TLZ method are to suppress convection in a melt and to keep constant temperature gradient for obtaining homogeneous crystals. Single crystals with surface area larger than 50×50mm2 were grown. Fabricated laser diodes on these substrates showed high temperature stability and error free transmission and showed the merit of ternary substrates. |
| キーワード |
(和) |
InGaAs / 基板結晶 / TLZ法 / 1.3ミクロン帯半導体レーザ / / / / |
| (英) |
InGaAs / substrate / TLZ method / 1.3 micron wavelength laser diode / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 110, no. 353, LQE2010-123, pp. 43-46, 2010年12月. |
| 資料番号 |
LQE2010-123 |
| 発行日 |
2010-12-10 (LQE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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