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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-02-07 13:50 スピンコートおよび高周波スパッタリングで成膜した有機薄膜を応用したQCMによる活性酸素モニタリング ○松本裕之・吉野 潔・岩崎達行・木下 忍（岩崎電気）・野田和俊（産総研）・荒井 航・岩森 暁（東海大）  OME2010-70 |
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| 抄録 | （和） | ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）スピンコート膜およびPTFEをターゲット材として高周波スパッタリング法で水晶基板上に成膜したフッ素系有機薄膜をQCMセンサとして用い，低圧水銀ランプ下で生成する活性酸素をモニターし，各センサ検出感度の評価を行った．その結果，両者間で質量減少挙動，すなわち，活性酸素およびUV光曝露による有機薄膜のエッチング特性に大きな差異があることがわかった．各有機薄膜について， FT-IRによる分子構造の解析を行い，フッ素系有機薄膜のエッチング挙動の差異理由について検討を行った． |
| （英） | To investigate potential as an active oxygen monitor, fluorocarbon polymers prepared by a spin coating and RF sputtering with PTFE target on the quartz crystal substrate were evaluated as the QCM sensor. Active oxygen generated under the low pressure mercury lamp was monitored by each sensor, and its detection sensitivities were estimated. As a result, it was confirmed that there is great difference for mass loss of organic thin film, e.g., film etching characteristic between them. In this study, to clarify molecular structures of these organic thin films, FT-IR analyses were also performed. | |
| キーワード | （和） | 活性酸素 / 水晶微小天秤(QCM) / 有機薄膜 / スピンコート / 高周波スパッタリング / / / |
| （英） | active oxygen / quartz crystal microbalance(QCM) / organic thin film / spin coating / RF sputtering / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 409, OME2010-70, pp. 11-14, 2011年2月. | |
| 資料番号 | OME2010-70 | |
| 発行日 | 2011-01-31 (OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2010-70 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
| 開催期間 | 2011-02-07 - 2011-02-07 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | センサ，デバイス，一般 |
| テーマ（英） | Sensors, Devices, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2011-02-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | スピンコートおよび高周波スパッタリングで成膜した有機薄膜を応用したQCMによる活性酸素モニタリング |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Application of Quartz Crystal Microbalance with Organic Thin Films prepared by Spin coat and RF Sputtering for Active Oxygen Monitoring |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 活性酸素 / active oxygen |
| キーワード(2)（和/英） | 水晶微小天秤(QCM) / quartz crystal microbalance(QCM) |
| キーワード(3)（和/英） | 有機薄膜 / organic thin film |
| キーワード(4)（和/英） | スピンコート / spin coating |
| キーワード(5)（和/英） | 高周波スパッタリング / RF sputtering |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松本 裕之 / Hiroyuki Matsumoto / マツモト ヒロユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 岩崎電気株式会社 (略称： 岩崎電気) Iwasaki Electric Co.,Ltd (略称： Iwasaki Electric) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉野 潔 / Kiyoshi Yoshino / ヨシノ キヨシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 岩崎電気株式会社 (略称： 岩崎電気) Iwasaki Electric Co.,Ltd (略称： Iwasaki Electric) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩崎 達行 / Tatsuyuki Iwasaki / イワサキ タツユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 岩崎電気株式会社 (略称： 岩崎電気) Iwasaki Electric Co.,Ltd (略称： Iwasaki Electric) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木下 忍 / Shinobu Kinoshita / キノシタ シノブ |
| 第4著者 所属（和/英） | 岩崎電気株式会社 (略称： 岩崎電気) Iwasaki Electric Co.,Ltd (略称： Iwasaki Electric) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野田 和俊 / Kazutoshi Noda / ノダ カズトシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒井 航 / Wataru Arai / アライ ワタル |
| 第6著者 所属（和/英） | 東海大学 (略称： 東海大) Tokai University (略称： Tokai Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩森 暁 / Satoru Iwamori / イワモリ サトル |
| 第7著者 所属（和/英） | 東海大学 (略称： 東海大) Tokai University (略称： Tokai Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-02-07 13:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2010-70 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.409 |
| ページ範囲 | pp.11-14 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2011-01-31 (OME) |
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