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講演抄録/キーワード
講演名 2011-02-23 15:40
マイクロサイズの電子線筺筒の開発とその応用
根尾陽一郎高木康男藤野高弘小池昭史静岡大)・長尾昌善吉田知也西 孝産総研)・村田英一酒井健太郎名城大)・青木 徹三村秀典静岡大ED2010-196 SDM2010-231 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2010-196 SDM2010-231
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文献情報 信学技報, vol. 110, no. 423, ED2010-196, pp. 25-29, 2011年2月.
資料番号 ED2010-196 
発行日 2011-02-16 (ED, SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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研究会情報
研究会 SDM ED  
開催期間 2011-02-23 - 2011-02-24 
開催地(和) 北海道大学 百年記念会館 
開催地(英) Hokkaido Univ. 
テーマ(和) 機能ナノデバイス及び関連技術 
テーマ(英) Functional nanodevices and related technologies 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2011-02-SDM-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) マイクロサイズの電子線筺筒の開発とその応用 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Development of Miniaturized Electron Optical Column in micro scale and its Application to Mask-less Lithography 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 根尾 陽一郎 / Yoichiro Neo / ネオ ヨウイチロウ
第1著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 高木 康男 / Yasuo Takagi / タカギ ヤスオ
第2著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤野 高弘 / Takahiro Fujino / フジノ タカヒロ
第3著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 小池 昭史 / Akifumi Koike / コイケ アキフミ
第4著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 長尾 昌善 / Masayoshi Nagao / ナガオ マサヨシ
第5著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: ASIT)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉田 知也 / Tomoya Yoshida / ヨシダ トモヤ
第6著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: ASIT)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 西 孝 / Takashi Nishi /
第7著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: ASIT)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 村田 英一 / Hidekazu Murata / ムラタ ヒデカズ
第8著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 酒井 健太郎 / Kentaro Sakai / サカイ ケンタロウ
第9著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 青木 徹 / Toru Aoki / アオキ トオル
第10著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 三村 秀典 / Hidenori Mimura / ミムラ ヒデノリ
第11著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
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講演者 第1著者 
発表日時 2011-02-23 15:40:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2010-196, SDM2010-231 
巻番号(vol) vol.110 
号番号(no) no.423(ED), no.424(SDM) 
ページ範囲 pp.25-29 
ページ数
発行日 2011-02-16 (ED, SDM) 


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