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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-02-23 16:55 SQUID共振を利用したサブミクロンAl接合容量の測定 ○菊池健人・守屋雅隆・島田 宏・水柿義直（電通大）  ED2010-199 SDM2010-234 |
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| 抄録 | （和） | サブミクロンAl 接合をもつデバイス作製にあたっては、接合容量をはじめ、抵抗やインダクタンスのデバイスパラメータを正確に決めることが必要である．そこで、このデバイスパラメータを1 つのデバイスで実験的に求めることのできる電流注入型SQUID を試作した．その結果、SQUID の接合がもつ容量とインダクタンスによる共振ステップと臨界電流変調周期から、Al 接合容量をはじめとするデバイスパラメータを求めることができた．今回の測定では54～170fF/μm2 となり、過去の他の方法で求められたAl 接合容量報告値と同様の結果を得ることが出来た． |
| （英） | It is necessary to extract the capacitances, resistances and inductances experimentally for fabrication sub-micron Al junction device. We have obtained these device parameters using SQUID resonance techniques with sub-micron Al junctions evaluated by means of direct current injections. The results of capacitance are 54～170fF/μm2 . | |
| キーワード | （和） | 超伝導体 / ジョセフソン接合 / SQUID / トンネル接合 / インダクタンス / 接合容量 / / |
| （英） | Superconductor / Josephson-Junction / SQUID / tunnel junction / inductance / capacitance / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 423, ED2010-199, pp. 43-48, 2011年2月. | |
| 資料番号 | ED2010-199 | |
| 発行日 | 2011-02-16 (ED, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2010-199 SDM2010-234 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM ED |
| 開催期間 | 2011-02-23 - 2011-02-24 |
| 開催地（和） | 北海道大学 百年記念会館 |
| 開催地（英） | Hokkaido Univ. |
| テーマ（和） | 機能ナノデバイス及び関連技術 |
| テーマ（英） | Functional nanodevices and related technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2011-02-SDM-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | SQUID共振を利用したサブミクロンAl接合容量の測定 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Capacitance measurements of sub-micron Al junctions using SQUID resonance |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導体 / Superconductor |
| キーワード(2)（和/英） | ジョセフソン接合 / Josephson-Junction |
| キーワード(3)（和/英） | SQUID / SQUID |
| キーワード(4)（和/英） | トンネル接合 / tunnel junction |
| キーワード(5)（和/英） | インダクタンス / inductance |
| キーワード(6)（和/英） | 接合容量 / capacitance |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 菊池 健人 / Kento Kikuchi / キクチ ケント |
| 第1著者 所属（和/英） | 電気通信大学 (略称： 電通大) The University of Electro-Communications (略称： Univ. of Electro-Comm.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 守屋 雅隆 / Masataka Moriya / モリヤ マサタカ |
| 第2著者 所属（和/英） | 電気通信大学 (略称： 電通大) The University of Electro-Communications (略称： Univ. of Electro-Comm.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島田 宏 / Hiroshi Shimada / シマダ ヒロシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 電気通信大学 (略称： 電通大) The University of Electro-Communications (略称： Univ. of Electro-Comm.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 水柿 義直 / Yoshinao Mizugaki / ミズガキ ヨシナオ |
| 第4著者 所属（和/英） | 電気通信大学 (略称： 電通大) The University of Electro-Communications (略称： Univ. of Electro-Comm.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-02-23 16:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2010-199, SDM2010-234 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.423(ED), no.424(SDM) |
| ページ範囲 | pp.43-48 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-02-16 (ED, SDM) |
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