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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-06-30 10:50 触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いて成長したZnO結晶薄膜の電気特性 里本宗一・田原将巳・三浦仁嗣・加藤孝弘・安井寛治（長岡技科大）  EMD2011-10 CPM2011-46 OME2011-24 |
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| 抄録 | （和） | 白金ナノ粒子表面での水素と酸素の発熱反応を利用して高エネルギーH2Oを生成、アルキル亜鉛ガスと衝突させ生成した高エネルギーZnOプリカーサを基板に供給、サファイアA面基板上にZnO結晶膜を成長させた。その電気伝導特性を調べ発光特性との関係からドナー不純物の同定を行うと共に、結晶膜の構造について考察した． |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 酸化亜鉛 / 触媒反応 / 化学気相成長 / 電気特性 / / / / |
| （英） | zinc oxide / catalytic reaction / CVD / electrical properties / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 109, CPM2011-46, pp. 11-16, 2011年6月. | |
| 資料番号 | CPM2011-46 | |
| 発行日 | 2011-06-23 (EMD, CPM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2011-10 CPM2011-46 OME2011-24 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD CPM OME |
| 開催期間 | 2011-06-30 - 2011-06-30 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 材料デバイスサマーミーティング |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2011-06-EMD-CPM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いて成長したZnO結晶薄膜の電気特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electrical properties of ZnO films grown on sapphire substrates using high-energy H2O generated by a catalytic reaction |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化亜鉛 / zinc oxide |
| キーワード(2)（和/英） | 触媒反応 / catalytic reaction |
| キーワード(3)（和/英） | 化学気相成長 / CVD |
| キーワード(4)（和/英） | 電気特性 / electrical properties |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 里本 宗一 / Souichi Satomoto / サトモト ソウイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田原 将巳 / Masami Tahara / タハラ マサミ |
| 第2著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 仁嗣 / Hitoshi Miura / ミウラ ヒトシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 加藤 孝弘 / Takahiro Kato / カトウ タカヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安井 寛治 / Kanji Yasui / ヤスイ カンジ |
| 第5著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol.) |
| 講演者 | 第6著者 |
| 発表日時 | 2011-06-30 10:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | EMD2011-10, CPM2011-46, OME2011-24 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.108(EMD), no.109(CPM), no.110(OME) |
| ページ範囲 | pp.11-16 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-06-23 (EMD, CPM, OME) |
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