講演抄録/キーワード |
講演名 |
2011-06-30 10:50
触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いて成長したZnO結晶薄膜の電気特性 里本宗一・田原将巳・三浦仁嗣・加藤孝弘・安井寛治(長岡技科大) EMD2011-10 CPM2011-46 OME2011-24 エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2011-10 CPM2011-46 OME2011-24 |
抄録 |
(和) |
白金ナノ粒子表面での水素と酸素の発熱反応を利用して高エネルギーH2Oを生成、アルキル亜鉛ガスと衝突させ生成した高エネルギーZnOプリカーサを基板に供給、サファイアA面基板上にZnO結晶膜を成長させた。その電気伝導特性を調べ発光特性との関係からドナー不純物の同定を行うと共に、結晶膜の構造について考察した. |
(英) |
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キーワード |
(和) |
酸化亜鉛 / 触媒反応 / 化学気相成長 / 電気特性 / / / / |
(英) |
zinc oxide / catalytic reaction / CVD / electrical properties / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 111, no. 109, CPM2011-46, pp. 11-16, 2011年6月. |
資料番号 |
CPM2011-46 |
発行日 |
2011-06-23 (EMD, CPM, OME) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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