講演抄録/キーワード |
講演名 |
2011-09-27 10:25
直線集束ビーム超音波材料解析システムによるガラス多層膜の評価 ○荒川元孝・櫛引淳一(東北大)・伊藤和彦・江藤和幸(日本航空電子) US2011-56 |
抄録 |
(和) |
直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムを超高フィネス光キャビティー用多層膜の評価に適用した。RFイオンビームスパッタリング法により、2枚のSiO2基板上にSiO2/Ta2O5多層膜を成膜し、そのうちの1枚を熱処理した。LFB-UMCシステムにより漏洩弾性表面波(LSAW)速度の周波数特性を測定することにより、熱処理によるLSAW速度変化を捉えた。また、SiO2とTa2O5の単層膜を作製し、LFB-UMCシステムにより評価した結果、多層膜の熱処理による弾性率、密度、透過率の変化は、主に、Ta2O5膜の特性変化によるものであることがわかった。 |
(英) |
Multilayer films for optical cavity with ultra-high finesse were evaluated by the line-focus-beam ultrasonic material characterization (LFB-UMC) system. Two SiO2/Ta2O5 multilayer films were deposited on SiO2 substrates by rf ion beam sputtering, and one of them was annealed. Frequency characteristics of leaky surface acoustic wave (LSAW) velocity were measured for specimens by the LFB-UMC system, and LSAW velocity changes due to the annealing were detected. SiO2 and Ta2O5 single layers were also deposited, and LSAW velocities were measured by the LFB-UMC system. It was found that elastic constant, density, and light transmittance changes of multilayer films caused by annealing were mainly affected by their changes of Ta2O5 layers. |
キーワード |
(和) |
直線集束ビーム超音波材料解析システム / 漏洩弾性表面波 / 多層膜 / Ta2O5 / SiO2 / 光キャビティー / / |
(英) |
Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System / Leaky Surface Acoustic Wave / Multilayer Film / Ta2O5 / SiO2 / Optical Cavity / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 111, no. 215, US2011-56, pp. 53-57, 2011年9月. |
資料番号 |
US2011-56 |
発行日 |
2011-09-19 (US) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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US2011-56 |