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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-10-06 14:35 オンウェーハ測定用GSGプローブの電磁界シミュレーションモデリング ○平野拓一・岡田健一・広川二郎・安藤 真（東工大）  EST2011-67 |
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| 抄録 | （和） | チップ上に作成したアナログRF回路のオンウェーハ測定ではプローブをパッドに当てて励振する。このような構造の電磁界シミュレーションを行うためには、パッド部を含めた電磁界モデリングが必要となる。著者らは過去に対称性を有する被測定回路のパッド部の電磁界シミュレーション励振モデルについて検討を行い、実測との良好な一致を確認した。本稿では被測定回路が対称性を有しない一般の場合に拡張して、パッド部を含めたアナログRF回路の電磁界シミュレーション励振モデルについて検討した結果を報告する。 |
| （英） | On-chip analog RF circuits are measured using GSG probes by contacting them onto pads. Electromagnetic simulation modeling including pads is sometimes necessary. The authors had reported electromagnetic simulation modeling for excitations using GSG pads with symmetric circuit, and the validity was confirmed by measurement. In this report, the previous work is extended, and electromagnetic simulation modeling for the circuit without symmetry is investigated. | |
| キーワード | （和） | 電磁界解析モデリング / GSGプローブ / パッド / オンウェーハ測定 / ミリ波 / CMOS / / |
| （英） | Electromagnetic Analysis Modeling / GSG Probe / Pad / On-Wafer Measurement / Millimeter-Wave / CMOS / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 224, EST2011-67, pp. 15-20, 2011年10月. | |
| 資料番号 | EST2011-67 | |
| 発行日 | 2011-09-29 (EST) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EST2011-67 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST |
| 開催期間 | 2011-10-06 - 2011-10-07 |
| 開催地（和） | 長崎県美術館 |
| 開催地（英） | Nagasaki Prefectural Art Museum |
| テーマ（和） | シミュレーション技術、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EST |
| 会議コード | 2011-10-EST |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | オンウェーハ測定用GSGプローブの電磁界シミュレーションモデリング |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Study of Electromagnetic Modeling of GSG Probes for On-Wafer Measurement |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電磁界解析モデリング / Electromagnetic Analysis Modeling |
| キーワード(2)（和/英） | GSGプローブ / GSG Probe |
| キーワード(3)（和/英） | パッド / Pad |
| キーワード(4)（和/英） | オンウェーハ測定 / On-Wafer Measurement |
| キーワード(5)（和/英） | ミリ波 / Millimeter-Wave |
| キーワード(6)（和/英） | CMOS / CMOS |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平野 拓一 / Takuichi Hirano / ヒラノ タクイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 健一 / Kenichi Okada / オカダ ケンイチ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 広川 二郎 / Jiro Hirokawa / ヒロカワ ジロウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安藤 真 / Makoto Ando / アンドウ マコト |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-10-06 14:35:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EST |
| 資料番号 | EST2011-67 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.224 |
| ページ範囲 | pp.15-20 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-09-29 (EST) |
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