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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-10-26 13:00 複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO2薄膜の作製と構造評価 ○横本拓也・前田洋輔・宮澤 匠・山上朋彦・阿部克也（信州大）  CPM2011-109 |
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| 抄録 | （和） | 複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法を用いてCuAlO2薄膜の作製と構造評価を行った。 本研究での複合ターゲットはAl円板上に三角形のCu板を載せただけという簡易な構造をしている。 Alのターゲット面積比率(Al/(Al+Cu))を大きくしていくと膜中のAlとCuの比を制御できることがわかり、 また酸素流量を増加させることでCuターゲットのスパッタレートが減少し、 相対的にAl元素の組成比が増加することがわかった。 Alの面積比率95%、酸素流量3 sccmの時、ストイキオメトリーに近い膜を得ることができた。 また、この膜のXRD測定を行ったところアモルファスライクな膜であることがわかった。 |
| （英） | CuAlO2 films were prepared by reactive magnetron sputtering using Al-Cu hybrid targets and these structural properties were characterized. The hybrid targets were some Cu plates placed on an Al target. The the film grown at an Al area ratio (Al/(Al+Cu)) of 95% and oxygen flow rate of 3 sccm had a near stoichiometic composition ratio. From XRD measurements, the film structure was found to be amorphous. |
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| キーワード | （和） | 反応性スパッタリング / 透明導電性酸化物 / CuAlO2 / / / / / |
| （英） | reactive sputtering / TCO / CuAlO2 / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 264, CPM2011-109, pp. 1-4, 2011年10月. | |
| 資料番号 | CPM2011-109 | |
| 発行日 | 2011-10-19 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2011-109 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2011-10-26 - 2011-10-27 |
| 開催地（和） | 福井大学 産学官連携本部研修室 |
| 開催地（英） | Fukui Univ. |
| テーマ（和） | 薄膜プロセス・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2011-10-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO2薄膜の作製と構造評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Structual characterization of CuAlO2 films deposited by reactive sputtering using composite target |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 反応性スパッタリング / reactive sputtering |
| キーワード(2)（和/英） | 透明導電性酸化物 / TCO |
| キーワード(3)（和/英） | CuAlO2 / CuAlO2 |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 横本 拓也 / Takuya Yokomoto / ヨコモト タクヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 信州大学 (略称： 信州大) Sinshu University (略称： SinshuUniv.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 前田 洋輔 / Yosuke Maeda / マエダ ヨウスケ |
| 第2著者 所属（和/英） | 信州大学 (略称： 信州大) Sinshu University (略称： SinshuUniv.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮澤 匠 / Takumi Miyazawa / ミヤザワ タクミ |
| 第3著者 所属（和/英） | 信州大学 (略称： 信州大) Sinshu University (略称： SinshuUniv.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山上 朋彦 / Tomohiko Yamakami / ヤマガミ トモヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 信州大学 (略称： 信州大) Sinshu University (略称： SinshuUniv.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阿部 克也 / Katsuya Abe / アベ カツヤ |
| 第5著者 所属（和/英） | 信州大学 (略称： 信州大) Sinshu University (略称： SinshuUniv.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-10-26 13:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2011-109 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.264 |
| ページ範囲 | pp.1-4 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2011-10-19 (CPM) |
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