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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-10-26 13:25 低電圧駆動フレキシブル有機EL素子のためのITO薄膜の検討 ○劉 暢・松井博章・木伏貴映・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎・坪井 望・野本隆宏（新潟大）  CPM2011-110 |
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| 抄録 | （和） | 本研究では，PENやアクリルなどのプラスチック基板上に，様々な条件でITO膜を作製するとともに，有機EL素子に及ぼす影響について検討を行った。RF-DC結合形スパッタ法を用いて，ガラス，PEN，アクリル基板上に様々な条件でITO膜を製膜し，有機EL素子へと応用し，評価を行った。その結果，ITO膜堆積時の基板温度が60℃以下においては基板材質による有機EL素子の特性への大きな影響は見られなかった。しかし，膜堆積時の基板温度が約80℃以上になると，アクリルのような耐熱性に劣る基板では，基板からのITO膜の剥離が観測され，有機EL素子への応用は困難であることが分かった。 |
| （英） | In order to examine that properties of OLEDs with ITO thin films deposited at low temperature, ITO films was deposited on glass, PEN and acrylic substrate by RF-DC coupled magnetron sputtering, and preparation of OLEDs was attempted on those ITO films. As a result, there were few characteristic differences of the OLEDs with substrate materials at the substrate temperature less than 60℃. But the detachment of the ITO films from an acrylic substrate at substrate temperature more than 80℃ was observed. Therefore, the preparation of the OLEDs on acrylic substrate was difficult when ITO films were deposited at substrate more than 80℃ temperature on acrylic substrate. | |
| キーワード | （和） | フレキシブル / 低温製膜ITO膜 / 有機EL素子 / 基板温度 / / / / |
| （英） | flexible / ITO thin films deposited at low temperature / OLEDs / substrate temperature / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 264, CPM2011-110, pp. 5-9, 2011年10月. | |
| 資料番号 | CPM2011-110 | |
| 発行日 | 2011-10-19 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2011-110 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2011-10-26 - 2011-10-27 |
| 開催地（和） | 福井大学 産学官連携本部研修室 |
| 開催地（英） | Fukui Univ. |
| テーマ（和） | 薄膜プロセス・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2011-10-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 低電圧駆動フレキシブル有機EL素子のためのITO薄膜の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Examination of ITO Thin Films for Flexible-OLEDs at Low-Voltage Driving |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | フレキシブル / flexible |
| キーワード(2)（和/英） | 低温製膜ITO膜 / ITO thin films deposited at low temperature |
| キーワード(3)（和/英） | 有機EL素子 / OLEDs |
| キーワード(4)（和/英） | 基板温度 / substrate temperature |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 劉 暢 / Chang Liu / リュウ チョウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松井 博章 / Hiroaki Matsui / マツイ ヒデキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木伏 貴映 / Takaaki Kibushi / キブシ タカアキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu / シミズ ヒデヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩野 春男 / Haruo Iwano / イワノ ハルオ |
| 第5著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 福嶋 康夫 / Yasuo Fukushima / フクシマ ヤスオ |
| 第6著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永田 向太郎 / Kotaro Nagata / ナガタ コウタロウ |
| 第7著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坪井 望 / Nozomu Tsuboi / ツボイ ノゾム |
| 第8著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野本 隆宏 / Takahiro Nomoto / ノモト タカヒロ |
| 第9著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-10-26 13:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2011-110 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.264 |
| ページ範囲 | pp.5-9 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2011-10-19 (CPM) |
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