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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-10-31 13:00 超臨界CO2中における弾性表面波共振子の共振特性 ○林 克洋・垣尾省司・近藤英一（山梨大）  US2011-58 |
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| 抄録 | （和） | 気体と液体の性状を有する超臨界流体を利用した，マイクロ・ナノ材料加工に関する研究開発が活発に行われているが，反応速度の加速などを誘起する分子分布の不均一性，「密度ゆらぎ」が問題点として挙げられている．表面物性に優れたセンシング能力を有する弾性表面波を利用すれば，密度ゆらぎセンサの実現が期待できる．本報告では，36° YX-LiTaO3基板を用いた横波型弾性表面波共振子のCO2圧力に対する共振特性，および合成石英基板上に形成した微小電極のCO2圧力に対するインピーダンス特性をそれぞれ評価した．横波型弾性表面波共振子では，気相／液相間における密度と粘度の急激な変化を反映した共振特性の変化が観測され，微小電極では，誘電率変化を反映した不連続なインピーダンス変化が観測された． |
| （英） | A supercritical fluid is a fluid at a temperature and pressure above its critical point. Supercritical CO2 functions as a moderate solvent, has zero surface tension, and has high permeability in fine structures. These properties are regarded as ideal for the processing of nano- and microscale substances, and research and development on the formation of such substances and processes have been carried out actively. A problem of applying supercritical fluids is the heterogeneity of their molecular distribution, i.e., fluctuations in their density. By utilizing a surface acoustic wave (SAW), it may be possible to realize a sensor for measuring the density fluctuation. In this study, the resonance property of a shear-horizontal-type SAW resonator fabricated on 36° YX-LiTaO3 substrate and the impedance of interdigitated electrode (IDE) fabricated on a nonpiezoelectric substrate were measured in high-pressure CO2. Abrupt changes in the resonance properties due to discontinuous changes in the density and viscosity were observed at a certain CO2 pressure. The IDE impedance change due to discontinuous changes in the permittivity was also observed. | |
| キーワード | （和） | 超臨界二酸化炭素 / 密度ゆらぎ / 弾性表面波共振子 / 横波型弾性表面波 / 微小電極 / / / |
| （英） | Supercritical CO2 / Fluctuations of density / SAW resonator / Shear-horizontal-type SAW / Interdigitated electrode / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 272, US2011-58, pp. 1-6, 2011年10月. | |
| 資料番号 | US2011-58 | |
| 発行日 | 2011-10-24 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2011-58 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2011-10-31 - 2011-10-31 |
| 開催地（和） | 山梨大学甲府キャンパス 情報メディア館 5F 多目的ホール |
| 開催地（英） | University of Yamanashi |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2011-10-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 超臨界CO2中における弾性表面波共振子の共振特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Resonance Properties of Surface Acoustic Wave Resonators in Supercritical CO2 |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超臨界二酸化炭素 / Supercritical CO2 |
| キーワード(2)（和/英） | 密度ゆらぎ / Fluctuations of density |
| キーワード(3)（和/英） | 弾性表面波共振子 / SAW resonator |
| キーワード(4)（和/英） | 横波型弾性表面波 / Shear-horizontal-type SAW |
| キーワード(5)（和/英） | 微小電極 / Interdigitated electrode |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 林 克洋 / Katsuhiro Hayashi / ハヤシ カツヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 垣尾 省司 / Shoji Kakio / カキオ ショウジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 近藤 英一 / Eiichi Kondoh / コンドウ エイイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-10-31 13:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2011-58 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.272 |
| ページ範囲 | pp.1-6 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-10-24 (US) |
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