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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-11-24 14:25 超音波ゼロCTE温度計測システムにより評価したEUVLシステム用TiO2-SiO2超低膨張ガラス ○櫛引淳一・荒川元孝・大橋雄二・丸山由子（東北大）  US2011-71 |
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| 抄録 | （和） | 我々は、TiO2-SiO2超低膨張(ULE)ガラスのゼロCTE温度{T(zero-CTE)}を超精密に計測するための超音波計測による間接法とその実用的なシステムを開発した。本報では、TiO2-SiO2 ULEガラスのT(zero-CTE)、音響特性（漏洩弾性表面波速度、縦波音速、横波音速、および密度）、TiO2濃度{C(TiO2)}、仮想温度(TF)、OH濃度{C(OH)}の間の関係を求めた。TiO2-SiO2 ULEガラスにおいて、C(TiO2)が6-9 wt%、TFが770-1110℃、OH濃度が0-1000 wtppmのときに、T(zero-CTE)が-74℃から145℃の範囲のガラスが得られることを実証した。 |
| （英） | We developed an indirect ultrasonic measurement method as a practical system for super-precisely measuring the zero-CTE temperatures, {T(zero-CTE)} of TiO2-SiO2 ultra-low-expansion (ULE) glasses. In this paper, we obtained relationships among T(zero-CTE), acoustic properties (leaky surface acoustic wave velocity, longitudinal velocity, shear velocity, and density), TiO2 concentration C(TiO2), fictive temperature (TF), and OH concentration C(OH) of TiO2-SiO2 ULE glass. We demonstrate that TiO2-SiO2 ULE glasses with T(zero-CTE) ranging from -74°C to 145°C will be available in C(TiO2) ranges of 6 to 9 wt%, TF ranges of 770 to 1110°C, and C(OH) ranges of 0 to 1000 wtppm. | |
| キーワード | （和） | 直線集束ビーム超音波材料解析システム / 速度計測 / 漏洩弾性表面波 / TiO2-SiO2超低膨張ガラス / 線膨張係数 / / / |
| （英） | line-focus-beam ultrasonic material characterization system / velocity measurement / leaky surface acoustic waves / TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glass / coefficient of thermal expansion / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 311, US2011-71, pp. 31-36, 2011年11月. | |
| 資料番号 | US2011-71 | |
| 発行日 | 2011-11-17 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2011-71 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2011-11-24 - 2011-11-24 |
| 開催地（和） | 東海大学清水キャンパス 海洋学部１号館２階大会議室 |
| 開催地（英） | Tokai Univ. |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2011-11-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 超音波ゼロCTE温度計測システムにより評価したEUVLシステム用TiO2-SiO2超低膨張ガラス |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glasses for EUVL system evaluated by ultrasonic zero-CTE temperature measurement system |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 直線集束ビーム超音波材料解析システム / line-focus-beam ultrasonic material characterization system |
| キーワード(2)（和/英） | 速度計測 / velocity measurement |
| キーワード(3)（和/英） | 漏洩弾性表面波 / leaky surface acoustic waves |
| キーワード(4)（和/英） | TiO2-SiO2超低膨張ガラス / TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glass |
| キーワード(5)（和/英） | 線膨張係数 / coefficient of thermal expansion |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki / クシビキ ジュンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒川 元孝 / Mototaka Arakawa / アラカワ モトタカ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大橋 雄二 / Yuji Ohashi / オオハシ ユウジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 丸山 由子 / Yuko Maruyama / マルヤマ ユウコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-11-24 14:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2011-71 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.311 |
| ページ範囲 | pp.31-36 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-11-17 (US) |
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