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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-11-29 13:50 ［招待講演］集積化CMOS-MEMS技術とその応用 ○森村浩季・島村俊重・桑原 啓・小野一善（NTT）・町田克之（NTT-AT）  CPM2011-158 ICD2011-90 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2011-158 ICD2011-90 |
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| 抄録 | （和） | ＣＭＯＳ技術とＭＥＭＳ技術を融合した集積化ＣＭＯＳ－ＭＥＭＳ技術について述べる．本技術は小型・薄型化，高機能化，高精度化，量産化などが図れる．まずは，従来技術の動向と集積化ＣＭＯＳ－ＭＥＭＳ技術の位置付けを述べ，集積化ＣＭＯＳ－ＭＥＭＳ技術のポイントと有用性を説明する応用例を示す．具体的には，約６万のＭＥＭＳ可変容量とセンサ回路により高感化を実現したＭＥＭＳ指紋センサ，マルチバンドＲＦモジュールをワンチップで実現可能にする，ＲＦ－ＭＥＭＳスイッチとＣＭＯＳ制御回路を混載したＳＰ８Ｔスイッチについて述べる．さらに，外部の環境からエネルギーを発電することでバッテリレスセンサノードを実現可能にする技術として，Ｐｏｗｅｒ－ＭＥＭＳ発電素子，振動センサと協調することでｎＷレベルで動作するセンサ回路についても説明する．最後にＣＭＯＳ回路とＭＥＭＳデバイスの融合により期待される今後の展望について述べる． |
| （英） | The paper describes integrated CMOS-MEMS technology and its applications. We discuss the features of integrated complementary metal–oxide–semi- conductor-microelectromechanical systems (CMOS- MEMS). The prospect of this integration is also presented. A MEMS fingerprint sensor and a low-voltage radio frequency (RF) CMOS-MEMS switch are the case studies discussed. Moreover, Power-MEMS generator and sub-nanowatt sensing circuit techniques for batteryless sensor-node with a nanowatt energy harvester are presented. In conclusion, it is confirmed that the integrated CMOS-MEMS technology will pave the way for the More than Moore technology. | |
| キーワード | （和） | CMOS－MEMS技術 / Sensor-MEMS / RF-MEMS / Power-MEMS / 指紋センサ / マルチバンドRF / バッテリレスセンサノード / エネルギーハーベスティング |
| （英） | CMOS-MEMS technology / Sensor-MEMS / RF-MEMS / Power-MEMS / fingerprint sensor / multiband-RF / batteryless senor-node / energy harvesting | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 326, CPM2011-158, pp. 47-52, 2011年11月. | |
| 資料番号 | CPM2011-158 | |
| 発行日 | 2011-11-21 (CPM, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2011-158 ICD2011-90 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2011-158 ICD2011-90 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD DC IPSJ-SLDM CPSY RECONF ICD CPM |
| 開催期間 | 2011-11-28 - 2011-11-30 |
| 開催地（和） | ニューウェルシティ宮崎 |
| 開催地（英） | NewWelCity Miyazaki |
| テーマ（和） | デザインガイア2011 -VLSI設計の新しい大地― |
| テーマ（英） | Design Gaia 2010 -New Field of VLSI Design- |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2011-11-VLD-DC-SLDM-CPSY-RECONF-ICD-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 集積化CMOS-MEMS技術とその応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Integrated CMOS-MEMS Technology and Its Applications |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | CMOS－MEMS技術 / CMOS-MEMS technology |
| キーワード(2)（和/英） | Sensor-MEMS / Sensor-MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | RF-MEMS / RF-MEMS |
| キーワード(4)（和/英） | Power-MEMS / Power-MEMS |
| キーワード(5)（和/英） | 指紋センサ / fingerprint sensor |
| キーワード(6)（和/英） | マルチバンドRF / multiband-RF |
| キーワード(7)（和/英） | バッテリレスセンサノード / batteryless senor-node |
| キーワード(8)（和/英） | エネルギーハーベスティング / energy harvesting |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森村 浩季 / Hiroki Morimura / モリムラ ヒロキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島村 俊重 / Toshishige Shimamura / シマムラ トシシゲ |
| 第2著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 桑原 啓 / Kei Kuwabara / クワバラ ケイ |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小野 一善 / Kazuyoshi Ono / オノ カズヨシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 町田 克之 / Katsuyuki Machida / マチダ カツユキ |
| 第5著者 所属（和/英） | NTTアドバンステクノロジ (略称： NTT-AT) NTT Advanced Technology Corporation (略称： NTT-AT) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-11-29 13:50:00 |
| 発表時間 | 50分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2011-158, ICD2011-90 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.326(CPM), no.327(ICD) |
| ページ範囲 | pp.47-52 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-11-21 (CPM, ICD) |
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