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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-12-16 10:30 Bag-of-Keypointsを用いた半導体欠陥画像分類 ○作山 努・松村 明（大日本スクリーン製造）  PRMU2011-134 |
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| 抄録 | （和） | Bag-of-Keypoints（BoK）は画像分類を行うためのアルゴリズムである．このBoKはScale-Invariant Feature Transform(SIFT)を応用した技術で，様々な画像に対してその有効性が報告がされている．本稿では，半導体を製造する過程で発生した欠陥の画像を対象として，BoKを応用した分類手法を提案する．まず，欠陥箇所を撮像した複数の画像から背景を消去しておき，次に全ての欠陥部位から得られるキーポイントの総数が最大となるようにSIFTパラメータを調整する．これにより分類に直接寄与しないキーポイントの検出を抑制する一方で，分類対象である欠陥から必要なキーポイントを検出させることができる．半導体ウェーハ外観検査装置により得た欠陥画像を用いてシミュレーションを行った結果，工場ラインの人間が目視で分類したときと同程度の分類精度を得た． |
| （英） | Bag-of-Keypoints(BoK) is an algorithm for image classification. The BoK is based on Scale-Invariant Feature Transform (SIFT) which is an algorithm for deteting keypoints and extracting local feature descriptors. In this paper, we proposed a novel approach for Automatic defect classification (ADC) using BoK. First, to remove a noise in the image, we used a background removing technique. Secondly, to detect the keypoints on subject in the image, we fix the SIFT parameter that is a best value for increasing the number of keyopints. In the result, we could classified the image at the same level as human in factory line. | |
| キーワード | （和） | Bag-of-Keypoints / SIFT / ADC / 半導体 / SVM / / / |
| （英） | Bag-of-Keypoints / SIFT / ADC / 半導体 / SVM / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 353, PRMU2011-134, pp. 53-58, 2011年12月. | |
| 資料番号 | PRMU2011-134 | |
| 発行日 | 2011-12-08 (PRMU) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | PRMU2011-134 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | PRMU FM |
| 開催期間 | 2011-12-15 - 2011-12-16 |
| 開催地（和） | 静岡大学浜松キャンパス |
| 開催地（英） | Hamamatsu Campus, Shizuoka Univ. |
| テーマ（和） | 一般物体認識と画像特徴量 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | PRMU |
| 会議コード | 2011-12-PRMU-FM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Bag-of-Keypointsを用いた半導体欠陥画像分類 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Automatic defect classification using Bag-of-Keypoints |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Bag-of-Keypoints / Bag-of-Keypoints |
| キーワード(2)（和/英） | SIFT / SIFT |
| キーワード(3)（和/英） | ADC / ADC |
| キーワード(4)（和/英） | 半導体 / 半導体 |
| キーワード(5)（和/英） | SVM / SVM |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 作山 努 / Tsutomu Sakuyama / サクヤマ ツトム |
| 第1著者 所属（和/英） | 大日本スクリーン製造 (略称： 大日本スクリーン製造) DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. (略称： SCREEN) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松村 明 / Akira Matsumura / マツムラ アキラ |
| 第2著者 所属（和/英） | 大日本スクリーン製造 (略称： 大日本スクリーン製造) DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. (略称： SCREEN) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-12-16 10:30:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | PRMU |
| 資料番号 | PRMU2011-134 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.353 |
| ページ範囲 | pp.53-58 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-12-08 (PRMU) |
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