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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-12-16 15:20 レーザー結晶化のプロセスシミュレータの開発 ～ 2次元および3次元シミュレータの開発 ～ ○木村 睦・松木邦晃・斎藤龍輔・塚本周史（龍谷大）  SDM2011-143 |
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| 抄録 | （和） | レーザー結晶化のプロセスシミュレータを開発している．核生成確率・結晶成長速度・部分結晶化モデルを組み込んだ，2次元および3次元シミュレータを開発した．結晶化の進捗挙動・柱状結晶粒の形成・マイクロCZ法のメカニズム・結晶粒径の基板温度に対する依存性・結晶粒径の表面核生成確率に対する依存性などを明らかにした． |
| （英） | We are developing process simulators for laser crystallization. We have developed 2-dimensional and 3-dimentional simulators to which the nucleation rate, crystal growth velocity, and partial crystallization models are embedded. The behavior of the crystallization, formation of columnar grains, mechanism of -CZ technique, dependence of the grain size on the substrate temperature, and dependence of the grain size on the interface nucleation rate were clarified. | |
| キーワード | （和） | レーザー結晶化 / プロセスシミュレータ / 2次元 / 3次元 / / / / |
| （英） | Laser Crystallization / Process Simulator / 2-Dimentional / 3-Dimentional / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 357, SDM2011-143, pp. 59-64, 2011年12月. | |
| 資料番号 | SDM2011-143 | |
| 発行日 | 2011-12-09 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2011-143 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2011-12-16 - 2011-12-16 |
| 開催地（和） | 奈良先端科学技術大学院大学 |
| 開催地（英） | NAIST |
| テーマ（和） | シリコン関連材料の作製と評価 |
| テーマ（英） | Fabrication and Evaluation of Silicon related Materials |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2011-12-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | レーザー結晶化のプロセスシミュレータの開発 |
| サブタイトル（和） | 2次元および3次元シミュレータの開発 |
| タイトル（英） | Development of Process Simulators for Laser Crystallization |
| サブタイトル（英） | Development of 2-Dimensional and 3-Dimentional Simulators |
| キーワード(1)（和/英） | レーザー結晶化 / Laser Crystallization |
| キーワード(2)（和/英） | プロセスシミュレータ / Process Simulator |
| キーワード(3)（和/英） | 2次元 / 2-Dimentional |
| キーワード(4)（和/英） | 3次元 / 3-Dimentional |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木村 睦 / Mutsumi Kimura / キムラ ムツミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 龍谷大学 (略称： 龍谷大) Ryukoku University (略称： Ryukoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松木 邦晃 / Kuniaki Matsuki / マツキ クニアキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 龍谷大学 (略称： 龍谷大) Ryukoku University (略称： Ryukoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 斎藤 龍輔 / Ryusuke Saito / サイトウ リュウスケ |
| 第3著者 所属（和/英） | 龍谷大学 (略称： 龍谷大) Ryukoku University (略称： Ryukoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 塚本 周史 / Shuji Tsukamoto / ツカモト シュウジ |
| 第4著者 所属（和/英） | 龍谷大学 (略称： 龍谷大) Ryukoku University (略称： Ryukoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-12-16 15:20:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2011-143 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.357 |
| ページ範囲 | pp.59-64 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-12-09 (SDM) |
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